[九州]半導体産業展

SPECS GmbH

環境制御 X線光電子分光装置 Enviro ESCA

準大気圧（NAP）測定。研究室でオペランド測定が可能なESCA。
溶液、バイオ燃料、2次電池、燃料電池、触媒材料、生体適合材料の測定に最適。

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SPC01

RBD Instruments, Inc.

Water Vapor Desorption

真空度を改善！赤外光/紫外光による水・炭化水素の除去システム

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RBD02

DCA Instruments

MBE成膜システム

完全自動制御、高精度搬送システム、高効率バッチ処理、高メンテナンス性

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DI01

DCA Instruments

MBE用蒸着源

様々な材料特性・プロセス条件に対応する豊富なラインナップ
真空を維持したまま交換・再充填が可能
DCA製MBEチャンバーとの高い互換性と最適化設計

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DI02

DCA Instruments

小型オゾン供給システム

高純度オゾン供給、完全自動制御、低ランニングコスト、安全運転

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DI03

K&S Advanced Systems

パッシブ除振台

軽量、エアー不要、メンテナンスフリー

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KS03

K&S Advanced Systems

アクティブ除振台

SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能
分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台

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KS02

LAMBDA Technologies

可変周波数マイクロ波（VFM）オーブン

反り・歪みの発生を抑えた精密接着、高速かつ低温硬化、周波数（5 ～ 7 GHz帯）の高速掃引

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LM01

attolight

低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin

走査型電子顕微鏡(SEM)とカソードルミネッセンス(CL)の統合システム、時間分解測定も可能

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TT01

attolight

STEM用 CL/PL測定システム Monch

STEM（走査型透過電子顕微鏡）にCL、PL測定機能を追加。近赤外光の検出も可能！

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TT02

Ephemeron Labs Inc.

EBIC･EBACイメージングシステム

18bitの分解能で鮮明なEBIC像を取得。
半導体デバイスの故障解析。

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EL01

AKONEER

高精度レーザー加工ワークステーション AKO 300 / AKO 600

特許技術「SSAIL」により、特殊材料を使用せず、3D配線パターンを形成可能！

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AK01

EKSPLA

高出力・完全空冷 産業用フェムト秒レーザー FemtoLux

GHz/MHzバースト、完全空冷、ゼロ・メンテナンスを実現。
2024年 国際会議SPIEにてPrizm Awardを受賞。

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EP65

EKSPLA, TII

ピコ秒スキャニングSFG分光システム

非破壊・非接触で、表面・界面の (固体-液体-気体)の分子振動解析が可能
固体、液体、気体のあらゆる表面・界面に対応

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SFG01