製品概要
K&S Adcvanced Systems 社が開発したアクティブ除振台は、リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振層とパッシブ除振層を組み合わせた、独自開発のダンパー構造を搭載することにより高い除振性能を発揮する、革新的な除振台です。
またリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応し、耐久性も備えております。
除振台内部にオシロスコープとスペクトルアナライザを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。
特長
- リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現
- 6自由度アクティブ制御(AIによる自動調整機能)
- 除振範囲：0.5～100Hz
- 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
- 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
- ワークステーション環境にシームレスで組込み
- 立ち上げ後の再チューニング不要
- カスタマイズ可能
- モジュラータイプは制御台数無制限
ラインナップ
モジュラータイプ 「ARIS MD」
従来は大掛かりな工事が必要とされていた、大型のSEM、TEM、SPM、AFMといった顕微鏡や半導体製造装置のような設備に、工事を必要とせず、後付けで設置できます。設置台数に制限はなく、数トンクラスの装置にも対応します。
オシロスコープ・スペクトルアナライザによるモニタリング
内蔵されたオシロスコープ・スペクトルアナライザによって振動の状況や、除振の状態をリアルタイムでモニタリングすることが可能です。
このデータを元に、リアルタイムで除振性能を調整できます。
スペクトルアナライザモード
