製品概要
本装置は、白色LEDを用いた非接触式の3次元表面形状/粗さ(Ra/Rq/Rz)測定装置です。
5 mm×5 mmの範囲を一度に短時間(約10秒)かつ数 µmの分解能で測定できます。また本装置には、CCDカメラが内蔵されており、CCD画像との比較も行えます。
その他にもプションの透過照明を用いることで透明材料、紙の明暗、手動もしくは自動ステージと組合わえることで広範囲にわたる測定も行えます。
測定原理:投影法
白色LEDを3方向からサンプル表面に照射することにより生成される影の長さと角度から
サンプル表面の形状及び粗さを測定します。

製品動画紹介:3Dトポグラフィ計測
導入事例



測定事例

メイン画面(3次元画像)

トポグラフィー像による表面粗さ計測

CCD画像(光のコントラストによる)表面粗さ計測

パーティクル分析


