【デモ機 特別価格のお知らせ】 '23.4.12 up
大変お買い得な機会です。数量限定ですのでお早めにお問い合わせください。
・ARIS TT180
デモに関して
ただいま、デモ機のご予約を受け付けております。
ご予約の方は下記のバナーよりお問い合わせください。
新製品情報のお知らせ
- シリーズ最小モデル登場！より軽量な装置にも対応した『SotoTT20』『 ArisTT20』
- 従来モデルの3倍のストローク！より大きな振幅にも対応した除振台『ArisMDPRO』
- ご要望の多かった架台付き除振システムも登場！様々な素材・サイズの架台をご提供します。
詳細は『K&S最新号カタログ '21.1.21(英語)』をご参照ください。
アクティブ除振台 御見積 依頼フォーム
お客様情報や御見積ご依頼内容など、必要事項をご記入の上、
PDFを保存、メールまたはFAXにて送信してください。
・メールアドレス：tiiweb@tokyoinst.co.jp
・FAX番号：03-3686-4711
アクティブ除振台 製品概要
K&S Adcvanced Systems 社が開発したアクティブ除振台は、リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振層とパッシブ除振層を組み合わせた、独自開発のダンパー構造を搭載することにより高い除振性能を発揮する、革新的な除振台です。
またリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応し、耐久性も備えております。
除振台内部にオシロスコープとスペクトルアナライザを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。
アクティブ除振台 特長
- リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現
- 6自由度アクティブ制御(AIによる自動調整機能)
- 除振範囲：0.5～100Hz
- 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
- 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
- ワークステーション環境にシームレスで組込み
- 立ち上げ後の再チューニング不要
- カスタマイズ可能
- モジュラータイプは制御台数無制限
アクティブ除振台ラインナップ
卓上型SEMやTEMなどの卓上タイプの電子顕微鏡に最適です。設置は電子顕微鏡の下に敷くだけで完了します。ソフトウェアでセットアップを行えばすぐにご使用いただけます。他の機器や環境からの振動を除振し、より鮮明な観察像が得られます。
従来は大掛かりな工事が必要とされていた、大型のSEM、TEM、SPM、AFMといった顕微鏡や半導体製造装置のような設備に、工事を必要とせず、後付けで設置できます。設置台数に制限はなく、数トンクラスの装置にも対応します。
アクティブ除振台の効果 電子顕微鏡画像の比較
アクティブ除振台によって、像の輪郭がはっきり観察できるようになります。
アクティブ除振台 未使用
アクティブ除振台 使用
オシロスコープ・スペクトルアナライザによるモニタリング
内蔵されたオシロスコープ・スペクトルアナライザによって振動の状況や、除振の状態をリアルタイムでモニタリングすることが可能です。
このデータを元に、リアルタイムで除振性能を調整できます。
オシロスコープモード
スペクトルアナライザモード
アクティブ除振台 ARIS TTシリーズ仕様
| Aris TT20 | Aris TT75i | Aris TT75 | Aris TT75x | |
|---|---|---|---|---|
| 寸法 (W×D×H) mm | 300×450×80 | 300×450×65 | 300×450×80 | 400×500×80 |
| 耐荷重 | 5～20kg | 15～75kg | 15～75kg | 15～75kg |
| アクチュエータ 出力 |
垂直: 50N 水平: 25N | |||
| 除振範囲 | 0.5～100Hz | |||
| 構造 | MVIS-多層防振構造 | |||
| 自由軸 | 6軸 | 4軸 | 6軸 | 6軸 |
| 除振性能 | ～8db(1Hz) ～20db(2Hz) |
|||
| セトリング時間 | ≤0.1秒 | |||
| リアルタイム 分析ツール |
内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ 内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー |
|||
| リアルタイム 調整 |
全自由度調整可能 リモートコントロール |
|||
| 対応電源 | AC 80～260V/50～60Hz | |||
| Aris TT100 | Aris TT150 | Aris TT180 | Aris TT200 | |
|---|---|---|---|---|
| 寸法 (W×D×H) mm | 400×500×80 | 400×500×80 | 500×600×80 | 600×800×80 |
| 耐荷重 | 40～100kg | 70～150kg | 80～180kg | 90～200kg |
| アクチュエータ 出力 |
垂直: 50N 水平: 25N | |||
| 除振範囲 | 0.5～100Hz | |||
| 構造 | MVIS-多層防振構造 | |||
| 自由軸 | 6軸 | |||
| 除振性能 | ～8db(1Hz) ～20db(2Hz) |
|||
| セトリング時間 | ≤0.1秒 | |||
| リアルタイム 分析ツール |
内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ 内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー |
|||
| リアルタイム 調整 |
全自由度調整可能 リモートコントロール |
|||
| 対応電源 | AC 80～260V/50～60Hz | |||
| Aris TT180-M | Aris TT200-M | |
|---|---|---|
| 寸法 (W×D×H) mm | 500×600×80 | 600×800×80 |
| 耐荷重 | カスタマイズ | カスタマイズ |
| アクチュエータ 出力 |
垂直: 50N 水平: 25N | |
| 除振範囲 | 0.5～100Hz | |
| 構造 | MVIS-多層防振構造 | |
| 自由軸 | 6軸 | |
| 除振性能 | ～8db(1Hz) ～20db(2Hz) |
|
| セトリング時間 | ≤0.1秒 | |
| リアルタイム 分析ツール |
内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ 内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー |
|
| リアルタイム 調整 |
全自由度調整可能 リモートコントロール |
|
| 対応電源 | AC 80～260V/50～60Hz | |
| Aris TT150-S | Aris TT180-S | Aris TT200-S | |
|---|---|---|---|
| 寸法 (W×D×H) mm | 400×500×80 | 500×600×80 | 600×800×80 |
| 耐荷重 | 70～150kg 振動生成モード付き |
80～180kg 振動生成モード付き |
90～200kg 振動生成モード付き |
| アクチュエータ 出力 |
垂直: 50N 水平: 25N | ||
| 除振範囲 | 0.5～100Hz | ||
| 構造 | MVIS-多層防振構造 | ||
| 自由軸 | 6軸 | ||
| 除振性能 | ～8db(1Hz) ～20db(2Hz) |
||
| セトリング時間 | ≤0.1秒 | ||
| リアルタイム 分析ツール |
内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ 内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー |
||
| リアルタイム 調整 |
全自由度調整可能 リモートコントロール |
||
| 対応電源 | AC 80～260V/50～60Hz | ||
アクティブ除振台 ARIS MDシリーズ仕様
| Aris MD300 PRO | Aris MD500 PRO | Aris MD1000 PRO | Aris MD2000 PRO | |
|---|---|---|---|---|
| モジュール あたり耐荷重 |
100～300kg 設置数制限なし |
200～500kg 設置数制限なし |
500～1000kg 設置数制限なし |
800～2000kg 設置数制限なし |
| 除振範囲 | 0.5～100Hz | |||
| 構造 | MVIS-多層防振構造 | |||
| 自由軸 | 6軸(システムごと) | |||
| 除振性能 | ～8db(1Hz) ～20db(2Hz) |
|||
| セトリング時間 | ≤0.1秒 | |||
| リアルタイム 分析ツール |
内蔵リアルタイム2xチャンネル オシロスコープ 内蔵リアルタイム2xチャンネルスペクトルアナライザー モジュール・システムごとに搭載 |
|||
| リアルタイム 調整ツール |
全自由度調整可能 リモートコントロール |
|||
| 対応電源 | AC 80～260V/50～60Hz | |||
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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