アクティブ除振台
SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能
分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台

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アクティブ除振台 アクティブ除振台

新製品情報のお知らせ

  • シリーズ最小モデル登場!より軽量な装置にも対応した『SotoTT20』『 ArisTT20』
  • 従来モデルの3倍のストローク!より大きな振幅にも対応した除振台『ArisMDPRO』
  • SEM / FIB機器向けのユニークなデザインの新モデル『Aris Integra』
  • ご要望の多かった架台付き除振システムも登場!様々な素材・サイズの架台をご提供します。

詳細は『K&S最新号カタログ '21.1.21(英語)』をご参照ください。

アクティブ除振台 御見積 依頼フォーム

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・メールアドレス:tiiweb@tokyoinst.co.jp
・FAX番号:03-3686-4711

アクティブ除振台 製品概要

イスラエル国K&S Adcvanced Systems 社が開発したアクティブ除振台は、リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振層とパッシブ除振層を組み合わせた、独自開発のダンパー構造を搭載することにより高い除振性能を発揮する、革新的な除振台です。
またリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応し、耐久性も備えております。
除振台内部にオシロスコープとスペクトルアナライザを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。

アクティブ除振台 特長

  • リニアモーター搭載:軽量化&超ロングアクチュエータストロークを実現
  • 6自由度アクティブ制御
  • 除振範囲:0.5~100Hz
  • 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
  • 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
  • ワークステーション環境にシームレスで組込み
  • 立ち上げ後の再チューニング不要
  • カスタマイズ可能
  • モジュラータイプは制御台数無制限

アクティブ除振台ラインナップ

アクティブ除振台 卓上タイプ 「ARIS TT」

卓上型SEMやTEMなどの卓上タイプの電子顕微鏡に最適です。設置は電子顕微鏡の下に敷くだけで完了します。ソフトウェアでセットアップを行えばすぐにご使用いただけます。他の機器や環境からの振動を除振し、より鮮明な観察像が得られます。

アクティブ除振台 モジュラータイプ 「ARIS MD」

従来は大掛かりな工事が必要とされていた、大型のSEM、TEM、SPM、AFMといった顕微鏡や半導体製造装置のような設備に、工事を必要とせず、後付けで設置できます。設置台数に制限はなく、数トンクラスの装置にも対応します。

アクティブ除振台の効果 電子顕微鏡画像の比較

アクティブ除振台によって、像の輪郭がはっきり観察できるようになります。

アクティブ除振台 未使用

アクティブ除振台 使用

オシロスコープ・スペクトルアナライザによるモニタリング

内蔵されたオシロスコープ・スペクトルアナライザによって振動の状況や、除振の状態をリアルタイムでモニタリングすることが可能です。
このデータを元に、リアルタイムで除振性能を調整できます。

オシロスコープモード

スペクトルアナライザモード

アクティブ除振台 ARIS TTシリーズ仕様

Aris TT75i Aris TT75 Aris TT75x Aris TT100
寸法 (W×D×H) mm 300×450×65 300×450×80 400×500×80 400×500×80
耐荷重 15~75kg 15~75kg 15~75kg 40~100kg
アクチュエータ 出力 垂直: 50N 水平: 25N
除振範囲 0.5~100Hz
構造 MVIS-多層防振構造
自由軸 4軸 6軸 6軸 6軸
除振性能 ~8db(1Hz)
~20db(2Hz)
セトリング時間 ≤0.1秒
リアルタイム 分析ツール 内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー
リアルタイム 調整 全自由度調整可能
リモートコントロール
対応電源 AC 80~260V/50~60Hz
Aris TT150 Aris TT180 Aris TT200
寸法 (W×D×H) mm 400×500×80 500×600×80 600×800×80
耐荷重 70~150kg 80~180kg 90~200kg
アクチュエータ 出力 垂直: 50N 水平: 25N
除振範囲 0.5~100Hz
構造 MVIS-多層防振構造
自由軸 6軸
除振性能 ~8db(1Hz)
~20db(2Hz)
セトリング時間 ≤0.1秒
リアルタイム 分析ツール 内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー
リアルタイム 調整 全自由度調整可能
リモートコントロール
対応電源 AC 80~260V/50~60Hz

アクティブ除振台 ARIS MDシリーズ仕様

Aris MD300 Aris MD500 Aris MD1000
寸法 (W×D×H) mm 270×230×75 270×230×75 370×230×75
モジュールあたり耐荷重 100~300kg
設置数制限なし
200~500kg
設置数制限なし
500~1000kg
設置数制限なし
アクチュエータ 出力 垂直: 80N
水平: 40N
除振範囲 0.5~100Hz
構造 MVIS-多層防振構造
自由軸 6軸(システムごと)
除振性能 ~8db(1Hz)
~20db(2Hz)
セトリング時間 ≤0.1秒
リアルタイム 分析ツール 内蔵リアルタイム2xチャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2xチャンネルスペクトルアナライザー
モジュール・システムごとに搭載
リアルタイム 調整ツール 全自由度調整可能
リモートコントロール
対応電源 AC 80~260V/50~60Hz
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