製品概要
RGA100, RGA200, RGA300型残留ガス分析計は低価格な真空系における残留ガスの分析装置です。ガス分析には四重極質量分析計を採用し、ファラデーカップまたはチャンネルトロン（オプション）で検出します。プローブはオープンソースタイプのデュアルThoriated Iridiumフィラメントを採用しています。専用のソフトウェアが標準で付属しPCから完全な制御が可能です。 ガス分析器部分は簡単に分解することが可能でクリーニング等のメンテナンスもやりやすい設計になっています。 任意の質量数の分圧変化のモニターなどプロセスモニター用途でもご使用頂けます。
特長
- 100, 200, 300 amuシステム
- 測定分解能1 amu以下
- 最小検知分圧6.7× 10-12 Pa (RGA)
- 1 ppm検出 (CIS)
- 動作圧力1.33 Pa (最大,CIS)
- 専用ソフトウェア付属(Windows版)
- マルチヘッドオペレーション
- RS232インターフェイス
用途
- 真空装置の残留ガス分析
- プロセス管理、リークチェック
ソフトウェア
ソフトウェアは以下よりダンロードいただけます。
- 【2026/03/02更新】RGA ソフトウェア(Ver. 4.4.0) Windows11対応 : コチラのURLよりダウンロードください。
- 【2015/10/01更新】LabVIEW Development Kit for LabVIEW v8.5 : SR59_soft02_ja.zip（SRSRGA85.llb / README SRSRGA VI Tree.vi / appendix_d_LV85 / readme.txt / 2.7MB）
