真空紫外分光器(瀬谷-波岡型)
対応波長、30nm~。コンパクト、高分解能かつ明るい分光器!
真空紫外の分光計測、波長可変光源、反射・透過率測定システムに

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真空紫外分光器(瀬谷-波岡型) 真空紫外分光器(瀬谷-波岡型)

コンパクトで高分解能、明るい光学系の瀬谷-波岡型分光器

収差補正凹面ホログラフィックグレーティングが1枚(または2枚)というシンプルな構造の分光器です。
ミラーが少ないため高分解能かつ明るい分光器としての性能を生み出しており、真空紫外の分光計測の他に、光源の波長可変フィルター用や光学素子の真空紫外での分光特性評価などの幅広い用途にご利用いただけます。
McPherson(マックファーソン)社では、下記3種類の焦点距離の瀬谷‐波岡型分光器を提供しています。
・20cm(234/302型)
・50cm(235型)
・1m(231型)
また、超高真空(UHV)モデルもあります。

特長

  • 高分解能かつ明るい光学系
  • 測定波長:30 nm~2,200 nm
  • 窒素パージ可
  • 超高真空モデル有り
  • 自動スキャニングオプション有り(789A-4型高精度自動波長掃引装置。カタログ参照
234/302分光器のポートオプション

234/302分光器のポートオプション

用途

  • 真空紫外分光計測 (CCD, 光電子増倍管 など)
  • 波長可変光源 (重水素光源, LDLS白色光源)
  • 光学素子評価用の分光光度計システムの構築 など

測定例

重水素光源のスペクトル

重水素光源のスペクトル

VUVAS真空紫外分光光度計

VUVAS真空紫外分光光度計

MgF2窓付重水素光源のスペクトル。121.6nmの輝線はライマンα線

McPherson(マックファーソン)社  概要・実績

66年の信頼と実績を誇る分光器の専門メーカーです。軟X線から真空紫外、紫外、可視、赤外までの各種分光器を設計製造し、高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリットの採用で高い信頼性と性能を有します。 分光器を知り尽くした高い技術力により様々なご要求に対するシステム化、特注にも対応しております。

真空紫外分光器(瀬谷‐波岡型)仕様

型名 234/302
焦点距離 200mm
入出射角(α+β) 64°
F値 F/4.5
波長レンジ 30~2,200nm(グレーティングによる)
波長分解能 0.1nm (@1200G/mm グレーティング)
スリット幅 可変(10μm~3mm)
真空度 10E-6 Torr (UHVモデルは10E-8 Torr)
入射ポート数 1
出射ポート数 1 または 2 (購入時選択)
フォーカルプレーン 25mm MCP または CCD(Andor newton SOシリーズ)
制御 手動 または モーター駆動(高精度自動波長掃引装置オプション)
スキャニングソフトウェア 専用ソフトウェア (モーター駆動の場合)
型名 235
焦点距離 500mm
入出射角(α+β) 70°15′
F値 F/11.6
波長レンジ 30~1,200nm(グレーティングによる)
波長分解能 0.05nm (@1200G/mm グレーティング)
スリット幅 可変(10μm~2mm)
真空度 10E-6 Torr (ステンレス鋼構造)
入射ポート数 1
出射ポート数 1
フォーカルプレーン 25mm MCP または CCD(Andor newton SOシリーズ)
制御 手動 または モーター駆動(高精度自動波長掃引装置オプション)
スキャニングソフトウェア 専用ソフトウェア (モーター駆動の場合)
型名 231
焦点距離 1000mm
入出射角(α+β) 70°15′
F値 F/22.9
波長レンジ 30~1,200nm(グレーティングによる)
波長分解能 0.025nm (@1200G/mm グレーティング)
スリット幅 可変(10μm~2mm)
真空度 10E-7 Torr (ステンレス鋼構造) UHVモデル有り
入射ポート数 1
出射ポート数 1
フォーカルプレーン 25mm MCP または CCD(Andor newton SOシリーズ)
制御 手動 または モーター駆動(高精度自動波長掃引装置オプション)
スキャニングソフトウェア 専用ソフトウェア (モーター駆動の場合)
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