レーザ励起プラズマ光源 LDLS™白色光源 製品概要
レーザー励起プラズマ光源 LDLS白色光源（Energetiq, A HAMAMATSU Company製）は、高輝度、紫外DUV～近赤外NIRの光波長域、微小点発光、長寿命、高安定性といった特長を合わせ持つ、従来にない理想 的な白色ランプ光源です。
LDLSは、Laser-Driven Light Sourceの頭文字を取った略で、放電電極で発生させたアーク放電をレーザー光で維持する独自点灯方式により、従来のキセノンランプや重水素ランプに比べて、超微小サイズ（φ0.1mm） で発光します。それと共に、紫外線～近赤外線領域と非常に幅広い発光波長範囲を持ち、特にDUV域では重水素ランプよりもはるかに強い光量と、輝線を伴わない発光スペクトルを得られます。 また、電極摩耗がなく、従来のランプに比べて非常に長いランプ寿命を得られます。一般的な放電式ランプに見られる発光点の揺らぎも殆どなく、発光強度の安定性にも優れた理想的な光源です。
高い技術を裏付ける保有特許
本製品の基礎原理であるレーザ励起技術は、EQ社の保有する特許技術です。関連の特許番号は以下の通りです。
（US 7435982, 7786455, 8525138, 8969841, 9048000, 9185786; Japan 5410958, 5628253; Korea 10-1507617; UK GB2450045.）
なお、より詳細な情報は以下サイトをご参照ください。
https://www.energetiq.com/patents
独自点灯方式（レーザ励起プラズマ光源）
キセノンを充填したランプバルブ内の放電電極間で発生させた放電に、レーザ光を集光し、プラズマを直接加熱・維持する独自点灯方式です。
高輝度点発光（発光点サイズφ0.1mm～）
発光点が小さく、微小スポットへの高輝度高効率集光照射が可能です（分光器、シングルモードファイバーへの高効率入射）。
LDLS光源の発光点サイズ は 微小Φ0.1mm～で、
従来型ランプ光源よりも高輝度で発光します。
紫外線（DUV)～近赤外線(NIR）の広波長域
170nm～2100nmまでの広波長範囲をもち、特に紫外線（DUV)域で高い光量と輝線を伴わない発光スペクトルです。
長寿命 10000時間以上（代表値）
レーザ励起プラズマのため、放電開始時以外は電極を使いません。
電極摩耗が少なく、従来型のキセノンランプと比べても格段の
長寿命となります（ランプ寿命は代表値です。メーカー保証値ではありません）。
光強度高安定性（発光点位置 ±0.4μm 安定）
発光部がレーザー集光点なので、発光部の揺らぎが大幅に低減されます。中心スポットの安定性は、±0.4μm以内です。
右図：
測定条件：200フレーム/秒のカメラにて発光部の一番明るい中心点を2500枚イメージ測定
レーザ励起プラズマ光源 LDLS™白色光源 ラインナップ
- 出力方法： 拡散照射（出射窓サイズφ22㎜）
- 拡散角度： NA0.47、約62度
- 発光点サイズ： 65×150μm（代表値）
- 冷却方法： 自然空冷（ランプヘッド）
- 推奨窒素パージ：Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- コントローラ選択： Normal / Managerコントローラ
- オプション窓： MgF2、BK7、LongPass190nm
- オプション： シャッターユニット
- 出力方法： 光ファイバ照射
- 接続ファイバ種類： UV仕様、BB仕様（選択）
- 接続ファイバコア径： 推奨115～600μm
- 発光点サイズ： 65×150μm（代表値）
- 冷却方法： 自然空冷（ランプヘッド）
- 推奨窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- コントローラ選択： Normal / Managerコントローラ
- オプション： ファイバコリメータ 他
- 出力方法：拡散照射（シングルビーム）
（発注時指定でデュアルビーム可能） - 拡散角度： NA0.56
- 発光点サイズ： 78×203μm（代表値）
- 冷却方法： 強制空冷（30CFM）
- 窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- 出力方法： 拡散照射（シングルビーム）
（発注時指定でデュアルビーム可能） - 拡散角度： NA0.50
- 発光点サイズ： 126×318μm（代表値）
- 冷却方法： 水冷
- 窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- オプション： チラーキット（EQ-77-CHILLER-KIT）
白色光源を使った実験性能の向上！
各種装置組込でのアライメント調整頻度削減！
- ■異なる広波長範囲に対応！
・EQ-77C-Diamond（350nm~20μm）
・EQ-77C-Sapphire（160nm~6μm） - ■160nm～20µmの更なる広波長範囲に対応した新型LDLS白色光源
- レーザー励起プラズマ光源LDLS白色光源は、高輝度、紫外DUV～近赤外NIRの光波長域、 微小点発光、長寿命かつ安定性といった特長を合わせた持つ、従来にない理想的な白色ランプ光源です。
新型となるEQ-77Cシリーズは最大160nm～20µmの広波長範囲に対応した最新のレーザー励起プラズマ光源です。 - ■高輝度
- 出力方法： 拡散照射（シングルビーム）
（発注時指定でデュアルビーム可能） - 拡散角度： NA0.50
- 発光点サイズ： 372×807μm（代表値）
- 冷却方法： 水冷
- 窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- オプション： チラーキット（EQ-77-CHILLER-KIT）
レーザ励起プラズマ光源 LDLS™白色光源 ラインナップ仕様
EQ-99X 拡散照射仕様
- 出力方法： 拡散照射（出射窓サイズφ22㎜）
- 拡散角度： NA0.47、約62度
- 発光点サイズ： 65×150μm（代表値）
- 冷却方法： 自然空冷（ランプヘッド）
- 推奨窒素パージ：Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- コントローラ選択： Normal / Managerコントローラ
- オプション窓： MgF2、BK7、LongPass190nm
- オプション： シャッターユニット
| 型名 | EQ-99X-QZ-S | EQ-99X-QZ-Plus |
| コントローラタイプ | Normal コントローラ | Manager コントローラ |
| シャッタユニット | － | 〇 |
| 波長範囲 | 170 ～ 2100 nm | |
| 出力方法 | 拡散照射（出射窓サイズ：約φ22 mm，窓材：石英） | |
| 拡散角度 | NA0.47、約 62 度 | |
| 発光点サイズ | 65×150 μm（代表値） | |
| 発光点位置安定性 | ±0.4 μm 以内 | |
| ランプ寿命 | 10000 時間以上（代表値） | |
| 冷却方法 | 自然空冷（ランプヘッド） | |
| 推奨窒素パージ | Grade6、供給圧力 20 psig （0.14 MPa) | |
| 準拠基準 | CE マーク、USA Patent No.7,435,982 | |
| 装置構成 | EQ-99 ランプヘッド、LD 電源、専用コントローラ（Normal または Manager）、AC 電源、電源ケーブル | |
| 寸法、質量 | ランプヘッド：82.3×85.7×76.2 mm、0.7 kg LD 電源：139.8×107.8×254.0 mm、2.2 kg |
|
| 消費電力 | 100 ～ 240 V、50 / 60 Hz、2.5 A | |
EQ-99XFC ファイバ照射仕様
- 出力方法： 光ファイバ照射
- 接続ファイバ種類： UV仕様、BB仕様（選択）
- 接続ファイバコア径： 推奨115～600μm
- 発光点サイズ： 65×150μm（代表値）
- 冷却方法： 自然空冷（ランプヘッド）
- 推奨窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- コントローラ選択： Normal / Managerコントローラ
- オプション： ファイバコリメータ 他
| 型名 | EQ-99X-FC-S | EQ-99X-FC-Plus |
| コントローラ タイプ | Normal コントローラ | Manager コントローラ |
| 波長範囲 | UV 仕様光ファイバ：190 ～ 900 nm BB 仕様光ファイバ：VIS ～ 2100 nm | |
| 放射束 | コア径 230 μm 光ファイバ接続時 90 mW（代表値) | |
| 出力コネクタ規格 | FC/PC コネクタまたは SMA/PC | |
| ファイバ（NA） | 0.22 | |
| ランプ寿命 | 10000 時間以上（代表値） | |
| 冷却方法 | 自然空冷（ランプヘッド） | |
| 推奨窒素パージ | Grade6、供給圧力20 psig (0.14 Mpa) | |
| 準拠基準 | CEマーク | |
| 装置構成 | EQ-99X-FC-S ランプヘッド、LD 電源、 専用コントローラ（Normal または Manager）、 AC 電源、電源ケーブル | |
| 寸法、質量 | ランプヘッド： 82.3×85.7×76.2 mm、0.7 kg LD 電源： 139.8×107.8×254.0 mm、2.2 kg |
|
| 消費電力 | 100 ～ 240 V、50 / 60 Hz、2.5 A | |
EQ-9 拡散照射仕様（OEMタイプ）仕様
- 出力方法：拡散照射（シングルビーム）
（発注時指定でデュアルビーム可能） - 拡散角度： NA0.56
- 発光点サイズ： 78×203μm（代表値）
- 冷却方法： 強制空冷（30CFM）
- 窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
| 型名 | EQ-9-QZ-S |
| 波長範囲 | 170 ～ 2100 nm |
| 窓材 ＊1 | 石英 |
| 照射方法＊2 | 拡散照射（シングルビーム） |
| 拡散角度 | NA 0.56 |
| 発光点サイズ | 78 × 203 μm |
| ランプ寿命 | 10000時間（代表値） |
| 冷却方法 | 強制空冷（30CFM） |
| 推奨窒素パージ | Grade 6、供給圧力20 psig（0.14 MPa） |
| 準拠基準 | CEマーク |
| 装置構成 | EQ-9-QZ-S ランプヘッド（励起用レーザ内蔵）、 レーザ電源およびコントローラ、専用接続ケーブル |
| 寸法・質量 | ランプヘッド：109 × 120 × 43 mm、0.91 kg |
| 電源コントローラ：38 × 197 × 93 mm、0.68 kg | |
| 専用ケーブル：ケーブル長 1 m（コネクタ部含まず） | |
| 消費電力 | 12 V DC、140 W.Max |
＊1. 窓材（MgF2・BK7・YAG）の変更をご希望される場合は、ご発注前にお問い合わせください。
＊2. デュアルビーム（Retro-Reflector無し）をご希望される場合は、ご発注前にお問い合わせください。
※ ＊１ ＊2のいずれかの場合も出荷時の型名が変わります。
EQ-77 ハイパワー拡散照射仕様
- 出力方法： 拡散照射（シングルビーム）
（発注時指定でデュアルビーム可能） - 拡散角度： NA0.50
- 発光点サイズ： 126×318μm（代表値）
- 冷却方法： 水冷
- 窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- オプション： チラーキット（EQ-77-CHILLER-KIT）
| 型名 | EQ-77-QZ-S |
| 波長範囲 | 170 ～ 2100 nm |
| 窓材＊1 | 石英 |
| 照射方法＊2 | 拡散照射（シングルビーム） |
| 拡散角度 | NA 0.50 |
| 発光点サイズ | 126 × 318 μm |
| ランプ寿命 | 10000 時間以上（代表値） |
| 冷却方法 | 水冷（1.0 Liter/Min.、500 W、1/4 inch、Swagelok) |
| 推奨窒素パージ | Grade 6、供給圧力20 psig (0.14 Mpa) |
| 準拠基準 | CEマーク |
| 装置構成 | EQ-77-QZ-Sランプヘッド、専用電源、電源接続ケーブル |
| 寸法、重量 | ランプヘッド： 128×175×102 mm、2.2 kg 専用電源：152×250×132 mm、2.9 kg |
| 消費電力 | 100 ～ 200 V、50 / 60 Hz、Max 350 W |
＊1.窓材（MgF2・BK7・YAG）の変更をご希望される場合は、ご発注前にお問い合わせください。
＊2.デュアルビーム（Retro-Reflector無し）をご希望される場合は、ご発注前にお問い合わせください。
※ チラーキット（EQ-77-CHILLER-KIT）は別売りとなります。
※ ＊１ ＊2 のいずれかの場合も出荷時の型名が変わります。
EQ-400 超高輝度拡散照射仕様
- 出力方法： 拡散照射（シングルビーム）
（発注時指定でデュアルビーム可能） - 拡散角度： NA0.50
- 発光点サイズ： 372×807μm（代表値）
- 冷却方法： 水冷
- 窒素パージ： Grade6、供給圧力20psig（0.14MPa）
- オプション： チラーキット（EQ-77-CHILLER-KIT）
| 型名 | EQ-400-RH-QZ-S |
| 波長範囲 | 170 ～ 2100 nm |
| 窓材＊1 | 石英 |
| 照射方法＊2 | 拡散照射（シングルビーム) |
| 拡散角度 | NA 0.50 |
| 発光点サイズ | 372 × 807 μm |
| ランプ寿命 | 10000 時間以上（代表値） |
| 冷却方法 | 水冷（1.0 Liter/Min.、500 W、1/4 inch、Swagelok) |
| 推奨窒素パージ | Grade 6、供給圧力20 psig (0.14 Mpa) |
| 準拠基準 | CEマーク |
| 装置構成 | EQ-400-RH-QZ-Sランプヘッド、専用電源、 電源接続ケーブル、専用チラー |
| 寸法、質量 | ランプヘッド： 135.6×144.9×56 mm、2.7 kg 専用電源：132.6×472.6×583.6 mm、18.89 kg |
| 消費電力 | 200 ～ 240 V、50 / 60 Hz、Max 1700 W |
＊1.窓材（MgF2・BK7・YAG）の変更をご希望される場合は、ご発注前にお問い合わせください。
＊2.デュアルビーム（Retro-Reflector無し）をご希望される場合は、ご発注前にお問い合わせください。
※ チラーキット（EQ-77-CHILLER-KIT）は別売りとなります。
※ ＊１ ＊2 のいずれかの場合も出荷時の型名が変わります。
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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製品に関するご質問・ご相談
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従来型のキセノンランプと何が違うのですか？メリットは何ですか？
放電電極で発生させたアーク放電部に、レーザー光を集光して点灯維持を行う、独自点灯方式を採用したランプ光源です。従来型のキセノンランプよりも超微小サイズ0.1ｍｍで発光する為、高輝度集光照射に威力を発揮します。レーザー集光で発光点の揺らぎも少なく、電極摩耗がない為、長寿命です。 -
ファイバー接続は可能ですか？
EQ-99FC（ファイバー接続仕様）の他、EQ-99（拡散仕様）に専用の軸外放物面鏡ユニットを取り付けて、ファイバー入射することも可能です。
