SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能
分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台

アクティブ除振台

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KS02

K&S Advanced Systems

軽量、エアー不要、メンテナンスフリー

パッシブ除振台

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KS03

K&S Advanced Systems