製品概要
SEMとカソードルミネッセンス(CL)光学系を完全一体化した世界唯一のAttolight社製 超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムの半導体ウエハ(GaN, SiCなど)対応モデルです。基本モデルの特長を受け継ぎ、面倒な光学調整は一切不要、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピングを実現し、ウエハをカットすることなくウエハの分析が可能です。SEM像とCL像の同時取得ができ、小さなウエハから300mmウエハまで対応。半導体デバイスの製造工程において、ウエハレベルでの評価を可能にしフィードバック時間を数日から数分へ劇的に改善します。
同製品が化合物半導体の専門誌
Compound Semiconductor(Volume 24 Issue 5)の
表紙を飾り、特集記事が掲載されました。
下記より無料ダウンロードが可能ですので、
ぜひご覧下さい。
特長
- GaNなどのワイドギャップ材料に最適
- ウエハの全領域から局所分析まで1台で対応
- SEMとカソードルミネッセンス（CL）を完全一体化
- SEM像とCL像を同時取得
用途・アプリケーション
- 半導体の故障解析、材料評価、品質管理
半導体ウエハの分析
150 mmウエハの全領域から局所分析まで１台で対応!
300mmウエハにも対応。
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