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走査型電子顕微鏡(SEM)とカソードルミネッセンス(CL)の統合システム
低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム

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カソードルミネッセンス測定システム Attolight CL カソードルミネッセンス測定システム Attolight CL

サンプル測定

●Attolight社のラボ(スイス)にてサンプル測定が可能です。お気軽にお問い合わせ下さい。


製品概要

 Attolight社の、SEMとCL光学系を完全一体化した、世界唯一の低温・超高感度CL顕微鏡システムです。
面倒な光学調整が一切不要の独自光学設計で、DUV-NIRまでをカバー、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピング、低温測定を実現。さらにストリークカメラと組み合わせて、ピコ秒時間分解測定も実現。
 基礎研究・開発から品質管理など産業用途にまで対応する、これまでのCL-SEMの常識を覆す顕微鏡システムです。

特長

  • 電子レンズと高NA (0.71)光学対物レンズを一体化
  • SEM像と同一視野のCL像を観察
  • 面倒な鏡調整は一切不要
  • 超高感度・高速スペクトラル・マッピング測定
  • 歪みのない広い観測視野 ~ 300 μm
  • SEM とCL を統合的に操作・測定
  • 観測波長180 nm ~ 1.6 umまでを高感度測定
  • 高精度6軸ステージ
  • 低温測定20 K ~
  • パルス電子源によるピコ秒時間分解測定

用途

  • LED材料の評価
  • ワイドギャップ材料の評価(GaN, SiC, BN)
  • 太陽電池やパワーデバイスなどの開発、品質管理、故障解析
  • ナノスケール光デバイスの評価 (プラズモニクス)
  • キャリアの蛍光寿命やダイナミクス観察

モデル一覧

機能 \ 型式 Grammont 2172 Allalin 4027 Rosa 4634 Allalin 4027 Chronos
基本機能(UV-VIS対応)
超高速スペクトルマッピング -
クライオスタット -
6軸ステージ -
NIR測定 - - -
ピコ秒時間分解測定 - - -

主な製品仕様

測定モード
光学顕微鏡イメージング
カソードルミネッセンス(CL)マッピング(多色, 単色, ハイパースペクトラル)
2次電子(SE)マッピング
時間分解カソードルミネッセンス(時間分解オプション)
SEとCLの同時イメージング
電子銃
ショットキー電子銃 (連続モード) 又はピコ秒パルス光電子銃 (時間分解オプション)
加速電圧: 3~10 kV
電子光学系
電磁レンズ, 偏光素子, 収差補正系を内蔵した電子光学鏡筒
連続モードと時間分解モードの両方に最適化
空間分解能
< 10 nm (3~10 kV)
ワーキングディスタンス
3 mm
プローブ電流
1 pA~20 nA
光学系
電子光学系への埋め込み型光学顕微鏡
対物レンズ
アクロマティック反射対物レンズ
波長 180 nm~1.6μm
開口数
NA 0.71 (f/0.5)
観測視野
> 300μm (電子及び光学顕微鏡)
光学顕微鏡分解能
< 5μm
集光効率
視野全域で30 % (ランバート反射の場合)
分光器
分散型イメージング分光器
出射ポート数2
焦点距離320nm
回折格子搭載数3(各回折格子の仕様は注文時に指定)
検出器
PMT(ポート1)
CCD(ポート2)
UV-VISストリークカメラ (時間分解オプション, 最小時間分解能10 ps)
真空システム
ディファレンシャルポンプシステム:
電子銃・鏡筒部用ゲッターイオンポンプ及び内部チャンバー用ターボ分子ポンプを搭載
内部チャンバー寸法
208 mm (直径) x 300 mm (高さ)
ナノポジショニングステージ
サンプル径: φ25 x 1.5 mm
6自由度の任意移動 (クライオスタットオプション対応)
ストローク
25 mm (X,Y軸), 3 mm (Z軸), 3°傾斜 (X,Y軸), 35°回転 (Z軸)
最小移動単位
1 nm
位置再現性
100 nm (フルストローク)
< 2 nm (100 nm範囲)
クライオスタット(オプション)
低振動ヘリウムコールドフィンガー
温度範囲: 20~300 K
デジタル温度コントローラ
システム重量
カソードルミネッセンスシステム: 250 kg
光学テーブル: 650 kg
使用環境温度
20±3℃, 湿度70%以下
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