製品概要

本製品は、走査型透過電子顕微鏡（STEM）に、集光・光照射の拡張機能を追加するシステムです。集光モードでは電子線が照射源となり、CL測定を実現します。光照射モードではレーザー励起後に電子像を取得します。光照射と集光を同時に行うことも可能で、PL測定を行うことができます。
メンヒ（Monch / Mönch）は、アルプス山脈に属するスイスの山です。ドイツ語で「修道士」を意味します。Attolight社は、製品名に山の名前をつけています。

特長

• ミラーの曲率半径と位置の最適化により超高感度を実現
• InGaAsカメラにより近赤外波長の検出
• 検出波長：200 nm 〜 1.7 um

用途

• GaN、InP、SiCの評価
• 太陽電池セル（GaAs、CdTe、ペロブスカイトなど）
• LED
• 2次元材料（グラフェン、BN、WS2、ダイヤモンドなど）

システム構成

測定データ例

(a) h-BN/WS2/h-BN heterostructure shows three emission lines: excitons(XA), trions (X-) and localized emitters (L).
(b) CL spectra for the regions highlighted in c and d.
(c) HAADF region measured in d and (d) the X- intensitymap revealing local trion enhancement.
(Bonnet et al., avarXiv:2102.06140 (2021)).

GaN/AlN NW(20 QDisks)のスペクトル像

(a) HAADF image of a GaN/AlN nanowire Scale bar is 20 nm.
(b) HAADF of the NW, acquired simultaneously with the CL.
(c) Wavelength position of the most intense peak.
(d) Intensity of the most intense peak.

論文リスト

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