分子線エピタキシー法(MBE):コンポーネント

  • 様々な材料特性・プロセス条件に対応する豊富なラインナップ
    真空を維持したまま交換・再充填が可能
    DCA製MBEチャンバーとの高い互換性と最適化設計

    MBE用蒸着源

    DI02

    DCA Instruments

  • 高純度オゾン供給、完全自動制御、低ランニングコスト、安全運転

    小型オゾン供給システム

    DI03

    DCA Instruments