高精度薄型ピエゾステージ
3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3

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ピエゾステージ ピエゾステージ

製品概要

PIEZOCONCEPTの薄型3軸ピエゾステージは、あらゆる倒立型顕微鏡との組み合わせを考慮して設計されております。BIO3は開口部が広く、顕微鏡用のスライドガラスを開口部内に設置可能です。粗動用のマイクロステージ(ステージストローク:25mmx25mm)と組み合わせたハイブリッドステージのラインナップもございます。各ステージに対応した多数のアクセサリーも取り揃えております。 標準仕様品のステージ本体はアルミニウム製ですが、100µmモデルには温度変化に対しより安定なインバー製のラインナップもございます。

特長

  • 薄型
  • あらゆる顕微鏡との組み合わせ可能
  • ハイブリッドステージ
  • 豊富なアクセサリー
  • 100µmモデル:インバー製をラインナップ
  • BIO3:開口部内へスライドガラス設置可能
  • ノイズレベル30pm以下

用途

  • 超解像顕微鏡
  • ナノリソグラフィー
  • 粒子トラッキング
  • 共焦点顕微鏡
  • 原子間力顕微鏡(AFM)

3軸ピエゾステージシリーズ 仕様

BIO3/LT3.100 BIO3/LT3.200 BIO3/LT3.300
XYZ
ストローク
100μm 200μm 300μm
XYZ
分解能
0.1nm 0.2nm 0.3nm
XYZ
ノイズレベル
0.01nm 0.02nm 0.03nm
XYZ
位置再現性
0.2nm 0.4nm 0.6nm
リニアリティ
(典型値)
0.02% 0.02% 0.02%
共振周波数
X, Y, Z
500Hz, 400Hz, 400Hz 400Hz, 350Hz, 300Hz 300Hz, 250Hz, 250Hz
剛性
X, Y, Z
0.6N/μm, 0.5N/μm,
0.5N/μm
0.5N/μm, 0.4N/μm,
0.4N/μm
0.4N/μm, 0.3N/μm,
0.3N/μm
耐荷重
-横向き使用時
1kg 1kg 1kg
耐荷重
-縦向き使用時
0.5kg 0.5kg 0.5kg
センサー Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
BIO3 サイズ
W×L×H
152.5×213×20.45mm 152.5×213×20.45mm 152.5×213×20.45mm
LT3 サイズ
W×L×H
152.5×193×20.70mm 152.5×193×20.70mm 152.5×193×20.70mm
本体素材 Al または Invar Al Al
ケーブル長 2m 2m 2m
適応
コントローラー
Standard Standard Standard
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