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高精度薄型ピエゾステージ
3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3

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ピエゾステージ ピエゾステージ

製品概要

PIEZOCONCEPTの薄型3軸ピエゾステージは、あらゆる倒立型顕微鏡との組み合わせを考慮して設計されております。  BIO3は開口部が広く、顕微鏡用のスライドガラスを開口部内に設置可能です。  粗動用のマイクロステージ(ステージストローク:25mm x 25mm)と組み合わせたハイブリッドステージのラインナップもございます。  各ステージに対応した多数のアクセサリーも取り揃えております。 標準仕様品のステージ本体はアルミニウム製ですが、100µmモデルには温度変化に対しより安定なインバー製のラインナップもございます。

特長

  • 薄型
  • あらゆる顕微鏡との組み合わせ可能
  • ハイブリッドステージ
  • 豊富なアクセサリー
  • 100µmモデル:インバー製をラインナップ
  • BIO3:開口部内へスライドガラス設置可能
  • ノイズレベル30pm以下

用途

  • 超解像顕微鏡
  • ナノリソグラフィー
  • 粒子トラッキング
  • 共焦点顕微鏡
  • 原子間力顕微鏡(AFM)

3軸ピエゾステージシリーズ 仕様

BIO3/LT3.100 BIO3/LT3.200 BIO3/LT3.300
XYZストローク (μm) 100 200 300
XYZ分解能 (nm) 0.1 0.2 0.3
XYZノイズレベル (nm) 0.01 0.02 0.03
XYZ位置再現性 (nm) 0.2 0.4 0.6
リニアリティ (典型値) 0.02% 0.02% 0.02%
共振周波数 X/Y/Z (Hz) 500/400/400 400/350/300 300/250/250
剛性 X/Y/Z (N/μm) 0.6/0.5/0.5 0.5/0.4/0.4 0.4/0.3/0.3
耐荷重 (kg) - 横向き使用時 1 1 1
耐荷重 (kg) - 縦向き使用時 0.5 0.5 0.5
センサー Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor
BIO3 サイズW x L x H (mm) 152.5 x 213 x 20.45 152.5 x 213 x 20.45 152.5 x 213 x 20.45
LT3 サイズW x L x H (mm) 152.5 x 193 x 20.70 152.5 x 193 x 20.70 152.5 x 193 x 20.70
本体素材 Al または Invar Al Al
ケーブル長 (m) 2 2 2
適応コントローラー Standard Standard Standard
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