製品概要

DCA Instruments社は、MBE（分⼦線エピタキシー）装置向けに、さまざまな材料系と成膜プロセスに対応する⾼性能な蒸着源を提供しています。⾦属、酸化物、III-V族化合物、⾦属有機化合物など、幅広い⽤途に対応し、研究から試作開発まで柔軟にサポートします。

主な蒸着源ラインアップ

エフュージョンセル（Effusion Cells）

⾼純度⾦属や酸化物の蒸着に最適。⾼温対応（最⼤約2000℃）かつ真空を保ったまま交換可能な引き込み式も選択可能。

バルブ付きクラッカー源（Valved Cracker Sources）

As、Sb、P、Hgなどの揮発性・腐⾷性材料に対応。バルブ機構により蒸気量を精密制御可能。

電⼦ビーム蒸発源（E-Beam Sources）

耐⽕性⾦属の蒸着に最適な⾼出⼒源。マルチポケットタイプも対応し、真空中での材料補充が可能。

RFプラズマ源

酸素、窒素・⽔素などの活性種を供給し、⾼品質な酸化膜・窒化膜の形成を実現。

⾦属有機注⼊源（MOPI）

Ti、V、Hf、Zrなどの低蒸気圧⾦属有機化合物を低温で効率的に供給可能。ハイブリッドMBEに最適。

マグネトロンスパッタリング蒸着源

高真空対応、トリプル磁石×高効率冷却で高純度・高均一成膜を実現する高機能マグネトロンスパッタ源。

特⻑

• 真空を維持したまま交換・再充填が可能な設計で、成膜の中断を最⼩限に抑制
• 豊富なラインアップで、材料特性・プロセス条件に応じた最適な構成を柔軟に選択可能
• DCA製MBEチャンバーとの⾼い互換性と最適化設計