環境制御光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90 NAP 製品概要
FE-LEEM/PEEM P90 NAPはSPECS社がこれまでNAP-XPSで培ってきた準大気圧環境下での測定技術をPEEM/LEEMに適用した、他に例の無い製品です。これにより1mbar環境下でPEEM/LEEM測定が可能となります。
特長
- UHVから最大1 mbarまで測定可能
- 最大試料温度 1000℃
- 空間分解能 < 30 nm (0.1 mbar)
- 組み込み型エネルギーフィルター
測定例
0.1mbarで分解能30nmを達成
LEEM像(UHV)
PEEM像(0.1mbar)
1mbarで分解能100nmを達成
PEEM像(1mbar)
グラフェンのPEEM像
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