真空度1mbarで測定可能
環境制御光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90 NAP

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環境制御光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90 NAP 環境制御光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90 NAP

環境制御光電子顕微鏡 FE-LEEM/PEEM P90 NAP 製品概要

FE-LEEM/PEEM P90 NAPはSPECS社がこれまでNAP-XPSで培ってきた準大気圧環境下での測定技術をPEEM/LEEMに適用した、他に例の無い製品です。これにより1mbar環境下でPEEM/LEEM測定が可能となります。

特長

  • UHVから最大1 mbarまで測定可能
  • 最大試料温度 1000℃
  • 空間分解能 < 30 nm (0.1 mbar)
  • 組み込み型エネルギーフィルター

測定例

0.1mbarで分解能30nmを達成

LEEM像(UHV)

PEEM像(0.1mbar)

1mbarで分解能100nmを達成

PEEM像(1mbar)

グラフェンのPEEM像

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