製品概要
VUVASシリーズ真空紫外分光光度計は真空もしくは窒素パージ中で、光学素子、コーティング、フォトレジスト材料、基板などの反射・透過特性測定をおこなうシステムで、分光器、MgF2窓付重水素光源、集光光学系、試料室、検出器から構成されています。
高品質の光学部品による高いスループットは、優れた再現性と高い信号レベルを達成し、高S/N比で測定がおこなえます。
VUVAS2000 配置図
特長
- 対応波長領域：120～350 nm
- 精度：0.05% (@ 157 nm)
- 真空度：10-6 Torr
- 窒素パージでの使用可能
- リファレンス用、サンプル測定用の2つの検出器搭載(VUVAS2000)
- フィルターホールも装着可能
計測例
透過率曲線図（溶融石英 5回積算）
透過率曲線図2(SiO2_CaF2)
反射率曲線図（３角度）
反射率曲線図（Alミラー層）
ガスフローサンプル
特注サンプルホルダ
真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ 仕様
| 型名 | VUVAS1000 | VUVAS2000 |
| 測定波長領域 | 120～350 nm | 120～350 nm |
| 真空度 | 10-4 Torr | 10-6 Torr |
| 窒素パージシステム | オプション | オプション |
| 精度（RSD、@157nm） | 0.25％ | 0.05％ |
| 精度（RSD、全体） | ＜0.5％ | ＜0.3％ |
| 安定性（1時間あたり） | ＜1％ | ＜0.5％ |
| バンドパス | 1～8 nm | |
| 波長校正精度 | 0.1 nm | |
| 波長繰返し精度 | 0.05 nm | |
| ステップ幅 | 0.00006 nm | |
| 検出器設置角度（可変） | 10～180° | |
| サンプル設置角度（可変） | 0～60° | |
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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