真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ
真空紫外領域での光学素子の反射・透過特性測定に最適
波長範囲:120~350nm

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真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ

製品概要

VUVASシリーズ真空紫外分光光度計は真空もしくは窒素パージ中で、光学素子、コーティング、フォトレジスト材料、基板などの反射・透過特性測定をおこなうシステムで、分光器、MgF2窓付重水素光源、集光光学系、試料室、検出器から構成されています。
高品質の光学部品による高いスループットは、優れた再現性と高い信号レベルを達成し、高S/N比で測定がおこなえます。

VUVAS2000 配置図

計測例

透過率曲線図(溶融石英 5回積算)

透過率曲線図2(SiO2_CaF2)

反射率曲線図(3角度)

反射率曲線図(Alミラー層)

PDA

ガスフローサンプル

PDA

特注サンプルホルダ

真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ 仕様

型名 VUVAS1000 VUVAS2000
測定波長領域 120~350 nm 120~350 nm
真空度 10^-3 Pa 10^-4 Pa
窒素パージシステム オプション オプション
精度(RSD、@157nm) 0.25% 0.05%
精度(RSD、全体) <0.5% <0.3%
安定性(1時間) <1% <0.5%
同時測定幅 1~8 nm 1~8 nm
波長精度 0.1 nm 0.1 nm
波長繰返し精度 0.05 nm 0.05 nm
ステップ幅 0.00006 nm 0.00006 nm
検出器振り角度 10~180° 10~180°
試料位置振り角度 0~60° 0~60°
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