光学素子評価品質管理用 分光光度計 PHOTON RT
全自動でフィルター・ミラー・PBSキューブなどの反射率、透過率、偏光を測定

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EssentOptics Ltd.
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光学素子評価品質管理用 分光光度計 PHOTON RT 光学素子評価品質管理用 分光光度計 PHOTON RT

製品概要

PHTORN RT(ESSENT Optics社製)は、フィルター・ミラー・PBSキューブなどの反射率・透過率・偏光測定を全自動で行う、フラットな光学素子の評価・品質管理に最適な分光光度計です。
従来の一般的な分光光度計の様に反射・透過測定ごとに測定用アクセサリーを交換する必要がないユニークな全自動光学配置を搭載し、反射率・透過率を続けて測定できます。これにより、作業効率が大幅に上がり、タクトタイムを大幅に削減できます。日常的に光学素子の成膜評価・完成品の品質管理を行うメーカー担当者の方に是非お使い頂きたい装置です。
広波長範囲185nm~最大5200nm対応(全自動検出器切り替え)、斜入射測定時のビームシフト補正(全自動検出器位置補正)、P・S偏光素子搭載(全自動切り替え)、波長校正用水銀ランプ搭載、測定データレポート作成機能搭載と、徹底した光学素子評価・品質管理作業の効率化を図った設計です。性能的にも、ダブルビーム方式で0.1%/時の高いベースライン安定性を有し、高安定・高精度測定が可能です。装置サイズは420×610×270mmとコンパクトで、卓上設置が可能です。

ラインナップ(全7機種)特注仕様要相談

反射率・透過率測定範囲 偏光測定範囲
185~1700nm 220~1700nm
380~1700nm 380~1700nm
185~3500nm 220~3500nm
380~3500nm 380~3500nm
185~4900nm 220~4900nm
380~5200nm 380~5200nm
185~5200nm 220~5200nm

ビームスポットについて

従来のPhotonRT分光光度計のビームスポットサイズは6×2mmでしたが、最新モデルではビームスポットサイズを自由に調整できる機能が搭載されました。
スポットサイズ5×2mmから1mmごとに可変でき、最小2×2mmにすることができます。(5×2 -> 4×2 -> 3×2 -> 2×2)

小さなプリズムビームスプリッタも測定可能

 

サンプルホルダー

下記以外にもご用意がございます。まずはご相談ください。

フィルター、ミラー用
(クレンメル固定、最大~φ150mm)

PBSキューブ用
(7×7×7mm~50×50×50mm)

オプション:XY可動ステージ
(コーティング場所ムラ測定用、40×40mm)

オプション:回転フィルターホルダー
(複数フィルター連続評価用、φ1inch)

紫外線領域の測定

紫外線領域の透過測定や反射測定において、最新のPhotonRTはとても低いノイズレベルを実現しています。

ベースラインの低ノイズ、高い安定性

サンプルを置かない状態での紫外線領域(190~350nm)の透過率は、0.5%以下に抑えられています。

検出器の低ノイズ化

検出器への入射光を遮断した状態で測定した時のノイズ

低迷光

UV領域に吸収域を持つホウケイ酸ガラスを用いて、迷光を測定しています。

反射率・透過率・偏光測定例 (全自動&迅速測定)

反射率測定: 入射角設定範囲8~75°(設定ステップ0.01°)
透過率測定: 入射角設定範囲0~75°(設定ステップ0.01°)

1064nm用レーザーミラーの入射角45°透過測定

UV340nm用ミラーのS,P,Ave偏光の入射角30,45,60°反射率測定

中赤外用ポラライザーの反射率・透過率測定

632.7nm用レーザーミラーの透過率測定

中赤外バンドパスフィルターの透過率測定

PBSキューブの透過率(S,P,Ave偏光)と反射率(S,P,Ave偏光)測定

PBSキューブの入射角0~20°(1°ステップ)ごとの透過率・反射率測定

光学素子評価品質管理用 分光光度計 PHOTON RT仕様

光学系仕様

分光器レイアウト ツェルニターナー型
分光器光学素子 ミラー Al+SiO2 / MgF2 コーティング
対照光束 ダブルビーム方式
波長送り間隔 0.5~100 nm
波長送り速度 nm/min 3000 nm/min. (5nm間隔で測定)
信号処理 平均化、平滑化、 積分値計算
測定光サイズ 6×2 mm
測定パラメーター 透過率, 反射率, 光学濃度, 吸光度
入射角度範囲 透過率測定 : 0~75度
反射率測定 : 8~75度
試料テーブルの回転間隔 0.01°
光検出器の回転間隔 0.01°
測定波長範囲 185~1700nm, 185~3500nm, 
185~4900nm, 380~1700nm,
380~3500nm, 380~5200nm
185~5200nm

分光器仕様

バンドパス 0.6 nm@185~990nm
1.2 nm@990~2450nm
2.4 nm@2450~5200nm
波長正確さ ± 0.24 nm 以下
波長送り繰り返し精度 ± 0.12 nm 以下
迷光 < 0.2 % (@532 nm)
ビーム広がり角 ±1
測光正確さ ±0.003Abs (1 Abs) (NIST SRM930使用)
±0.003Abs (0.33 Abs) (NIST SRM1930使用)
±0.006Abs (2 Abs) (NIST SRM1930使用)
測光繰り返し精度 ±0.0004Abs (1 Abs) (NIST SRM930使用)
±0.0001Abs (0.33 Abs) (NIST SRM1930使用)
±0.005Abs (2 Abs) (NIST SRM1930使用)
0.1秒積算、10回測定時の最大偏差
ベースライン安定性 0.1%/時 @ UV-VIS (30分暖気運転後)
光源 ハロゲンランプ、重水素ランプ、IRランプ
Hg-Arランプ (波長校正用)
搭載偏光子 380~2200 nm, 220~2200 nm, 220~4900 nm, 380~5200 nm
S、 P、 S+P+(S+P)/2、
Random、 ユーザー定義 S:P比

測定コンポーネント

試料ステージ 12×10 mm以上 (透過、反射測定)
独立制御 試料テーブルと検出器部の独立制御
同期制御 試料テーブルと検出器部を測定内容に沿って同期制御
試料サイズ 12×10 mm以上 (入射角度10度以下)
12×25 mm以上 (入射角度10~75度)
最大Ø120mm with closed lit –

ユーザーインターフェース、寸法

接続 USB 2.0
消費電力 110 Wt
電源 110/220 VAC, 50/60 Hz
寸法 幅×奥行×高さ W420×D610×H270 mm
重量 45 kg
付属品 PBSキューブステージ、取扱説明書、USBケーブル、
電源ケーブル、ソフトウェア、ハロゲンランプ (予備)
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