マイクロジュールクラス・フェムト秒産業用ファイバーレーザー FemtoLux 3
微細加工から研究開発(R&D)用途を網羅

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マイクロジュールクラス・フェムト秒産業用ファイバーレーザー FemtoLux 3 マイクロジュールクラス・フェムト秒産業用ファイバーレーザー FemtoLux 3

製品概要

マイクロジュールクラス・フェムト秒産業用ファイバーレーザー FemtoLux 3は、研究開発(R&D)用途と産業用途にも使用でき、24時間7日間フル稼働を実現する完全空冷タイプのフェムト秒ファイバーレーザーです。
精密加工で求められるパルスコントロール機能(繰返周波数/パルス数/パルス強度)を標準搭載しており、パルス幅は300fs〜5ps、繰り返し周波数はシングルショット~最⼤5MHz、パルスエネルギーは0~100%で可変できますので、お客様の要求に合わせて最適化がおこなえます。
バーストパルスにも対応しており、最大10µJ@1064、5µJ@515nmを出力できます。
515nmを出力する第2高調波発生オプションもあり幅広いアプリケーションに対応します。装置への組み込みを考慮したコンパクトかつ堅牢な筐体です。

特長

  • 優れたビーム品質(高いXY対称性):TEM00 M2<1.2
  • パルスコントロール機能(繰返周波数/パルス数/パルス強度)
  • パルス幅:300fs~5ps間を可変可能
  • 1030nmで3 W、515nmで1.5 W(典型値 最小~230fs)の発振出力
  • 最大3 μJ/パルスおよび10 μJ/バースト(1030 nm)
  • 最大1.5 μJ/パルスおよび5 μJ/バースト(515 nm)
  • シングルショット~最大5MHzの繰返し周波数
  • バーストパルス制御可能
  • 完全空冷
  • 24時間 7日間 フル稼働可能

用途

  • マーキング
  • マイクロ・ナノ構造作成
  • マイクロマシニング
  • フォトポリマー光重合
  • 眼科手術
  • バイオメディカルイメージング
  • OPO / OPA
  • 2光子顕微鏡

特性データ:繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力

ビームプロファイル(XY対称性)

寸法図

レーザーヘッド寸法

レーザーヘッド寸法

レーザー電源寸法

レーザー電源寸法

標準仕様

型名 FemtoLux 3
中心波長
標準発振波長 1030±2 nm
第2高調波発生オプションあり 515±1 nm
パルス幅 300fs~5ps 可変
最大平均発振出力
1030 nm >3 W
515 nm >1.5 W
出力安定性 ≤0.5%
最大パルスエネルギー*2
1030 nm 最大3 μJ/パルスおよび10 μJ/バースト
515 nm 最大1.5 μJ/パルスおよび5 μJ/バースト
エネルギー安定性 <2%
繰返し周波数 シングルショット~5MHz
ビーム径 1.8±0.2mm
ビーム品質 TEM00 M2<1.2
レーザーヘッド寸法 294×437×119 mm
レーザー電源寸法 436×449×140mm(標準仕様)
436×483×140 mm(19インチラック)
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