製品概要
ドイツSPECS社製のFE-LEEM/PEEM P90シリーズは、低エネルギー電子を照射し反射電子像を得るLEEMモードと、光を照射し光電子像を得るPEEMモードを選択可能な電子顕微鏡です。90°ディフレクタを用い、LEEMモードで高空間分解能5nmを実現しました。オプションの球面収差補正機能を追加することで、空間分解能は3nm（標準値、最高到達分解能1.6nm）に向上し、 スループットも従来に比べ8倍アップします。高輝度・低エネルギー分散 FE-電子銃を用いる事で、高いエネルギー分解能測定を実現します。
特長
- コンパクト、オールインワン設計
- 高分解能 保証値3nm、最高到達分解能1.6nm（LEEM、球面収差補正機能追加モデル）
- 高輝度、低エネルギー分散 FE-電子銃（半値幅300meV）
- 球面収差補正機能（オプション）
- 高精度5軸ピエゾ試料ステージ
- 高い拡張性
測定モード
- LEEM像（反射コントラスト、フェーズコントラスト）
- ミラー電子顕微鏡像
- LEED像、マイクロLEED像
- ARPES像
- EELS像
- PEEM像
- XMCD-PEEM像
仕様
| 空間分解能 | FE-LEEM P90 保証値5nm （最高分解能4.2nm） FE-LEEM P90 AC 保証値3nm （最高分解能1.6nm） |
| 観察視野 | 800nm～100μm |
| 倍率 | 400～50000倍 |
| エネルギー分解能 | 分光測定 <250meV イメージング <1.7eV |
| Kineticエネルギー | 通常15keV、最小2keV |
| 占有面積 | 1.6×2.3m （高さ2.3m） |
| スタートエネルギー | 最大1000eV |
| ベースプレッシャー | 2×10-10mbar |
| LEEMスポットサイズ | <40μm 最小200nm （マイクロ・ディフラクションのアパーチャー使用時） |
| 電子ビームのエネルギー幅 | <300meV |
| 試料ステージの位置再現精度 | ～500nm |
| 最高試料加熱温度 | 最大1500K （イメージング時） |
ダウンロードしたPDFファイルをご覧になるには、Adobe Acrobat Readerが必要です。左記のバナーより、ソフトウェア（無料）をダウンロード・インストールして下さい。
| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
|---|
