軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 製品概要
Marana-Xは、EUVおよび軟X線アプリケーションに適したsCMOSカメラです。
背面照射型4.2メガピクセルsCMOSセンサーにより、フルフレームで最大74fpsでの撮像が行えます。 さらに画素数を絞れば100fps、1,000fpsといった従来のX線CCDを凌駕する高速撮像も可能です。また、撮像だけでなく、分光計測モードも搭載しており、分光器に接続をしてスペクトル計測をすることも可能です。
特長
- 背面照射型sCMOSセンサー搭載
- VUV、EUV、軟X線検出用
- 高画素：4.2メガピクセル（2048x2048）
- 高感度：最大量子効率99%
- 高速：74 fps（フルフレーム）
108 fps（1400x1400画素） - ハイダイナミックレンジ：最大16bit
- 低温冷：-45℃
- 分光計測モード搭載
主な用途
- in situ X線計測
- トモグラフィー
- X線分光法
- ハイパースペクトルイメージング
- EUV リソグラフィー
- EUV タイコグラフィー
量子効率曲線図
軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X フレームレート
| ROI Size (W x H) |
Max Frame Rate (fps) | ROI area (of sensor) |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| USB 3.0 | CoaXPress | |||||||||||||||||||||||
| 16-bit | 12-bit (Low Noise) |
16-bit | 12-bit (Low Noise) |
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| 2048x2048 | 40 | 43 | 74 | 44 | 13.3 mm x 13.3 mm | |||||||||||||||||||
| 1400x1400 | 85 | 63 | 108 | 64 | 9.1 mm x 9.1 mm | |||||||||||||||||||
| 1200x1200 | 116 | 74 | 126 | 74 | 7.8 mm x 7.8 mm | |||||||||||||||||||
| 1024x1024 | 148 | 87 | 148 | 87 | 6.7 mm x 6.7 mm | |||||||||||||||||||
| 512x512 | 295 | 174 | 295 | 174 | 3.3 mm x 3.3 mm | |||||||||||||||||||
| 256x256 | 587 | 346 | 587 | 346 | 1.7 mm x 1.7 mm | |||||||||||||||||||
| 128x128 | 1165 | 686 | 1166 | 687 | 0.8 mm x 0.8 mm | |||||||||||||||||||
軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 仕様
| センサータイプ | 背面照射型 Scientific CMOS |
| 素子数 | 2048×2048 |
| 素子サイズ | 6.5μm×6.5μm |
| 検出面積 | 13.3×13.3 mm |
| シャッターモード | ローリングシャッター |
| ピクセル読み出しレート | 310 MHz（高速ハイダイナミックレンジモード：16bit） 180 MHz（低ノイズモード：12bit） |
| 最大読み出し速度 (フルフレーム) |
74 fps |
| 最大量子効率 | 99% |
| 読み出しノイズ | 1.6 e-（高速ハイダイナミックレンジモード：16bit） 1.2 e-（低ノイズモード：12bit） |
| 冷却温度 | -25ºC（空冷) -45ºC（水冷） |
| 暗電流 | 0.15 e-/pixel/s（-25ºC） 0.10 e-/pixel/s（-45ºC） |
| 電子井戸の深さ | 55,000 e-（高速ハイダイナミックレンジモード：16bit） 1800 e-（低ノイズモード：12bit） |
| ダイナミックレンジ | 34,000:1 （高速ハイダイナミックレンジモード：16bit） |
| データ出力レンジ | 16bit（高速ハイダイナミックレンジモード） 12bit（低ノイズモード） |
| ビンニング | 2×2, 3×3, 4×4, 8×8 |
| インターフェース | USB 3.0 または CoaXPress |
| 制御ソフト | Andor Solis |
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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