軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X
軟X線、EUVを100fpsで直接撮像可能!リソグラフィ、タイコグラフィ用途など

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軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 製品概要

Marana-Xは、EUVおよび軟X線アプリケーションに適したsCMOSカメラです。
背面照射型4.2メガピクセルsCMOSセンサーにより、フルフレームで最大74fpsでの撮像が行えます。 さらに画素数を絞れば100fps、1,000fpsといった従来のX線CCDを凌駕する高速撮像も可能です。また、撮像だけでなく、分光計測モードも搭載しており、分光器に接続をしてスペクトル計測をすることも可能です。

特長

  • 背面照射型sCMOSセンサー搭載
  • VUV、EUV、軟X線検出用
  • 高画素:4.2メガピクセル(2048x2048)
  • 高感度:最大量子効率99%
  • 高速:74 fps(フルフレーム), 108 fps(1400x1400画素)
  • ハイダイナミックレンジ:最大16bit
  • 低温冷:-45℃
  • 分光計測モード搭載

主な用途

  • in situ X線計測
  • トモグラフィー
  • X線分光法
  • ハイパースペクトルイメージング
  • EUV リソグラフィー
  • EUV タイコグラフィー
     

量子効率曲線図

高速広視野 sCMOSカメラ "Balor" 量子効率曲線図

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X フレームレート

Marana-X-6

ROI サイズ
(W x H)
最大フレームレート (fps) ROI エリア
USB 3.0 CoaXPress
16 bit 12 bit 16 bit 12 bit
2048x2048 40 43 74 44 13.3 mm x 13.3 mm
1400x1400 85 63 108 64 9.1 mm x 9.1 mm
1200x1200 116 74 126 74 7.8 mm x 7.8 mm
1024x1024 148 87 148 87 6.7 mm x 6.7 mm
512x512 295 174 295 174 3.3 mm x 3.3 mm
256x256 587 346 587 346 1.7 mm x 1.7 mm
128x128 1165 686 1166 687 0.8 mm x 0.8 mm

Marana-X-11

ROI サイズ
(W x H)
最大フレームレート (fps) ROI エリア 活用シーン
16 bit 12 bit
2048x2048 24 48 22.5 mm × 22.5 mm 広視野イメージング、
トモグラフィー、
タイコグラフィー
2048x1200 41 81 22.5 mm × 13.2 mm 高速イメージング

分光計測
(シングルトラック、
高密度マルチトラック)
1608x1608 30 61 17.7 mm × 17.7 mm
1400x1400 35 70 15.4 mm × 15.4 mm
1200x1200 41 81 13.2 mm × 13.2 mm
1024x1024 48 95 11.3 mm × 11.3 mm
512x512 95 190 5.6 mm × 5.6 mm
256x256 190 378 2.8 mm × 2.8 mm
128x128 378 750 1.4 mm × 1.4 mm
2048x8 5415 9747 22.5 mm × 88 mm 高速分光計測、
光源モニター
2048x2 16244 24367 22.5 mm × 22 mm
2048x1 24367 24367 22.5 mm × 11 mm

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 仕様

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X-6

型名 Marana-X-6
センサータイプ 背面照射型
Scientific CMOS (sCMOS)
素子数 2048×2048
素子サイズ 6.5μm×6.5μm
検出面積 13.3 mm ×13.3 mm
シャッターモード ローリングシャッター
ピクセル読み出しレート 310 MHz(高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
180 MHz(低ノイズモード:12bit)
最大量子効率 99%
読み出しノイズ 1.6 e-(高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
1.2 e-(低ノイズモード:12bit)
冷却温度 -25ºC(空冷)
-45ºC(水冷)
暗電流 0.15 e-/pixel/s(@-25ºC)
0.10 e-/pixel/s(@-45ºC)
ダイナミックレンジ 34,000:1 (高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
データ出力レンジ 16bit(高速ハイダイナミックレンジモード)
12bit(低ノイズモード)
ビンニング 2×2, 3×3, 4×4, 8×8
インターフェース USB 3.0 または CoaXPress
マウンティングフランジ DN100CF 6インチ外径 固定フランジ
制御ソフト(32bit , 64bit) Andor Solis
Andor SDK(C, C++,LabVIEW, Matlab互換)

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X-11

型名 Marana-X-11
センサータイプ 背面照射型
Scientific CMOS (sCMOS)
素子数 2048×2048
素子サイズ 11μm×11μm
検出面積 22.5 mm x 22.5 mm
シャッターモード ローリングシャッター
ピクセル読み出しレート 100MHz(高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
200MHz(高速読み出しモード:12bit)
最大量子効率 99%
読み出しノイズ 1.6 e-(任意の読み出しレート:16bit)
1.2 e-(低ノイズモード:12bit)
冷却温度 -25ºC(空冷)
-45ºC(水冷)
暗電流 0.7 e-/pixel/s(@-25ºC)
0.3 e-/pixel/s(@-45ºC)
ダイナミックレンジ 53,000:1 (高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
データ出力レンジ 16bit(ハイダイナミックレンジモード)
12bit(高速読み出しモード)
ビンニング 2×2, 3×3, 4×4, 8×8
インターフェース USB 3.0 または CoaXPress
マウンティングフランジ DN100CF 6インチ外径 固定フランジ
制御ソフト(32bit , 64bit) Andor Solis
Andor SDK(C, C++,LabVIEW, Matlab互換)
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