軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X
軟X線、EUVを100fpsで直接撮像可能!リソグラフィ、タイコグラフィ用途など

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軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 製品概要

Marana-Xは、EUVおよび軟X線アプリケーションに適したsCMOSカメラです。
背面照射型4.2メガピクセルsCMOSセンサーにより、フルフレームで最大74fpsでの撮像が行えます。 さらに画素数を絞れば100fps、1,000fpsといった従来のX線CCDを凌駕する高速撮像も可能です。また、撮像だけでなく、分光計測モードも搭載しており、分光器に接続をしてスペクトル計測をすることも可能です。

特長

  • 背面照射型sCMOSセンサー搭載
  • VUV、EUV、軟X線検出用
  • 高画素:4.2メガピクセル(2048x2048)
  • 高感度:最大量子効率99%
  • 高速:74 fps(フルフレーム)
    108 fps(1400x1400画素)
  • ハイダイナミックレンジ:最大16bit
  • 低温冷:-45℃
  • 分光計測モード搭載

主な用途

  • in situ X線計測
  • トモグラフィー
  • X線分光法
  • ハイパースペクトルイメージング
  • EUV リソグラフィー
  • EUV タイコグラフィー
     

量子効率曲線図

高速広視野 sCMOSカメラ "Balor" 量子効率曲線図

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X フレームレート

ROI Size
(W x H)
Max Frame Rate (fps) ROI area
(of sensor)
USB 3.0 CoaXPress
16-bit 12-bit
(Low Noise)
16-bit 12-bit
(Low Noise)
2048x2048 40 43 74 44 13.3 mm x 13.3 mm
1400x1400 85 63 108 64 9.1 mm x 9.1 mm
1200x1200 116 74 126 74 7.8 mm x 7.8 mm
1024x1024 148 87 148 87 6.7 mm x 6.7 mm
512x512 295 174 295 174 3.3 mm x 3.3 mm
256x256 587 346 587 346 1.7 mm x 1.7 mm
128x128 1165 686 1166 687 0.8 mm x 0.8 mm

軟X線/EUV用高速sCMOSカメラ Marana-X 仕様

センサータイプ 背面照射型
Scientific CMOS
素子数 2048×2048
素子サイズ 6.5μm×6.5μm
検出面積 13.3×13.3 mm
シャッターモード ローリングシャッター
ピクセル読み出しレート 310 MHz(高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
180 MHz(低ノイズモード:12bit)
最大読み出し速度
(フルフレーム)
74 fps
最大量子効率 99%
読み出しノイズ 1.6 e-(高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
1.2 e-(低ノイズモード:12bit)
冷却温度 -25ºC(空冷)
-45ºC(水冷)
暗電流 0.15 e-/pixel/s(-25ºC)
0.10 e-/pixel/s(-45ºC)
電子井戸の深さ 55,000 e-(高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
1800 e-(低ノイズモード:12bit)
ダイナミックレンジ 34,000:1 (高速ハイダイナミックレンジモード:16bit)
データ出力レンジ 16bit(高速ハイダイナミックレンジモード)
12bit(低ノイズモード)
ビンニング 2×2, 3×3, 4×4, 8×8
インターフェース USB 3.0 または CoaXPress
制御ソフト Andor Solis
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