概要
UltraFast Innovations（UFI）社の斜入射分光器 EVERESTは軟X線、EUV（極端紫外線）、VUV（真空紫外）に対応可能な分光器です。
特長
- 柔軟な測定モード
┗ 測定効率を最大化するため、入射スリットの有無を選択して使用できます
┗ スリットレスでの運用も可能で、様々な光源距離に対応します - モジュール式デザイン
┗ 実験の多様な形状や構成に合わせて、柔軟に対応できます - 統合された構成
┗ ゲートバルブやフィルター挿入ユニットが統合されており、3軸でモーター駆動する
回折格子により、精密なアライメントが可能です
仕様
| Grating 1 | |||
|---|---|---|---|
| 波長 | 1 〜 6 nm | 3 〜 17 nm | |
| 光子エネルギー | 207 〜 1240 eV | 73 〜 413 eV | |
| 動作モード | 入射スリット有り | スリット無し | |
| 光源距離* | any | 0.4 〜 0.6 m | |
| 分解能 | 0.01 nm | 0.03 nm | |
| Grating 2 | |||
| 波長 | 5 〜 20 nm | 10 〜 60 nm | 25 〜 80 nm |
| 光子エネルギー | 62 〜 248 eV | 21 〜 124 eV | 15 〜 50 eV |
| 動作モード | 入射スリット有り | スリット無し | スリット無し |
| 光源距離* | any | 0.4 〜 0.6 m | 0.5 〜 1.5 m |
| 分解能 | 0.02 nm | 0.09 nm | 0.1 nm |
| Grating 3 | |||
| 波長 | 80 〜 200 nm | 30 〜 200 nm | |
| 光子エネルギー | 6 〜 15 eV | 6 〜 41 eV | |
| 動作モード | 入射スリット有り | スリット無し | |
| 光源距離* | any | 2 〜 10 m | |
| 分解能 | 0.05 nm | 0.2 nm | |
*ご要望に応じてカスタマイズ可能
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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