概要
UltraFast Innovations(UFI)社の斜入射分光器 EVERESTは軟X線、EUV(極端紫外線)、VUV(真空紫外)に対応可能な分光器です。
特長
- 広範な測定帯域
単⼀回折格⼦で1 nm(軟X線)から200 nm(真空紫外)までカバー - 収差補正フラットフィールド
斜⼊射型光学系により、⾼精度かつ効率的な放射光特性評価を実現 - スリットレス動作
⼊射スリットの有無を選択でき、分解能または集光効率の最⼤化が可能 - 多様な光源に対応
⾼次⾼調波(HHG)やレーザープラズマ光源の診断に最適 - 利便性の⾼い設計
真空チャンバー内での回折格⼦切り替えや、⼀体型フィルターホルダーを搭載 - ⾼度な解析ソフト
直感的なアライメント、データ取得、およびキャリブレーションが可能 - ビームプロファイラ機能
オプションでHHG等の空間強度分布測定モードも利⽤可能 - ⾼真空度
< 10-6 mbar の⾼真空度に対応可能
仕様
| Grating 1 | Grating 2 | Grating 3 | Grating 4 | |
|---|---|---|---|---|
| 波長域 | 1 〜 6 nm | 5 〜 20 nm | 20 〜 80 nm | 50 〜 200 nm |
| 光子エネルギー | 206 〜 1240 eV | 62 〜 248 eV | 15 〜 62 eV | 6 〜 25 eV |
| 波長分解能 | 0.010 nm | 0.028 nm | 0.11 nm | 0.28 nm |
| 単一の回折格子 での測定 |
Optional | |||
| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
|---|






