製品概要
スタンダードなものから特殊用途のものまで、各種測定に合ったプローブを用意しております。
チップ裏面に金属コーティングを施し、コーティング無しと比較して信号強度および化学的安定性も増しております。
カンチレバー形状、共振周波数および力定数が異なる多くの型番からサンプルに適したものをお選び頂けます。
導電性コーティング・磁気コーティングの他、裏面コーティングのないベアプローブ、ティップのないティップレスプローブもご提供可能です。
特長
- ほとんどの市販SPMで使用可能
- チップ裏面の金属コーティング(AuまたはAl)により信号強度および化学安定性を向上
- 導電性コーティングは2種類から選択(Pt、Au)
- ベアプローブ、ティップレスプローブも提供可能
- 低価格、高品質
主な用途
- 走査型プローブ顕微鏡
- 原子間力顕微鏡(AFM)
- ケルビンプローブ顕微鏡(KPM)、電気力顕微鏡(EFM)
- 磁気力顕微鏡(MFM)
- フォース測定
製品一覧
スタンダードプローブ CSG、FMG、NSGシリーズ
特長：
・鋭いティップ曲率半径(代表値：6nm)を持つ、標準的なプローブです。
・標準で裏面にAuコーティングしてあります。
・導電性(Au、Pt)プローブ、磁気性プローブ、ベアプローブもご提供しております。
用途：
・走査型プローブ顕微鏡における各種測定
ポリシリコンプローブ ETARONシリーズ
特長：
・低分散の共振周波数および力定数の値を持つ、
ばらつきの少ないプローブです。
用途：
・走査型プローブ顕微鏡における各種測定
高分解能プローブ DLCシリーズ
特長：
・ティップ先端に曲率半径1～3nmのDLCを伸長させた
高分解能測定用プローブです。
・DLCティップはTEMで20 nm以上の長さのものを選別しています。
・優れた高耐摩耗性を持ちます。
用途：
・高分解能測定
・nmオーダーの微細構造を持つサンプル
・従来のSPMプローブでは十分な分解能を得られなかったサンプル
ナローギャップ用プローブ Whiskerシリーズ
特長：
・ティップ先端に細長いエクストラティップを施した、
深い溝や垂直構造を持つサンプルに最適なプローブです。
用途：
・深い溝、垂直構造のあるサンプル
・極端な構造を持つサンプル
トップビジュアルプローブ VITシリーズ
特長：
ティップ部分がカンチレバーの先端よりも突出しており、
正確な位置決めに最適なプローブです。
用途：
・走査型プローブ顕微鏡での測定に使用
・ノンコンタクト用
・TERS, TEFS, s-SNOMでの使用
・ナノマニピュレーション
ダイアモンドコート導電性プローブ DCPシリーズ
特長：
・ティップをダイアモンドコートを施し、
高い耐久性・耐摩耗性を備えたプローブです。
・窒素ドープにより導電性を持ち、
電気モードおよびナノリソグラフィー用にもご使用頂けます。
用途：
・酸化ナノリソグラフィー
・電気モード測定
・繰り返し測定
コロイダルプローブ スタンダードプローブタイプ
ティップレスプローブタイプ
特長：
・カンチレバー先端にコロイド粒子を付着させたコロイダルプローブです。
・粒子間および粒子－表面間の力測定、摩擦力や接着力の測定に有効です。
用途：
・粒子間の力測定
・粒子－表面間の力測定
・局所領域の力測定
・摩擦力測定、接着力測定
SPMプローブ仕様
ETALONシリーズ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ティップコート | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±2μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.15μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | ||||
| HA_FM | A | 223 | 34 | 3 | 69.3 | 77 | 84.7 | 2.8 | 3.5 | 4.2 | Au | - Pt Au W2C |
| B | 183 | 34 | 3 | 102.6 | 114 | 125.4 | 4.8 | 6 | 7.2 | |||
| HA_NC | A | 94 | 34 | 1.85 | 211.5 | 235 | 258.5 | 9.6 | 12 | 14.4 | Au | - Pt Au W2C |
| B | 124 | 34 | 1.85 | 126 | 140 | 154 | 2.8 | 3.5 | 4.2 | |||
| HA_HR | A | 93 | 34 | 3 | 342 | 380 | 418 | 27.2 | 34 | 40.8 | Au | - Pt Au W2C |
| B | 123 | 34 | 3 | 207 | 230 | 253 | 13.6 | 17 | 20.4 | |||
| HA_C | A | 264 | 34 | 1.85 | 33.3 | 37 | 40.7 | 0.52 | 0.65 | 0.78 | Au | Pt Au |
| B | 364 | 34 | 1.85 | 17.1 | 19 | 20.9 | 0.21 | 0.26 | 0.31 | |||
| HA_CNC | A | 224 | 34 | 1.85 | 41.4 | 46 | 50.6 | 0.8 | 1 | 1.2 | Au | - (bare) |
| B | 184 | 34 | 1.85 | 59.4 | 66 | 72.6 | 1.2 | 1.5 | 1.8 | |||
Goldenシリーズ (スタンダード、導電性コーティング)
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ティップコート | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±5μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.5μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | |||
| CSG01 | 350 | 30 | 1 | 4 | 9.8 | 17 | 0.003 | 0.03 | 0.13 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| CSG10 | 225 | 30 | 1 | 8 | 22 | 39 | 0.01 | 0.11 | 0.5 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| CSG30 | 190 | 30 | 1.5 | 26 | 48 | 76 | 0.13 | 0.6 | 2 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| FMG01 | 225 | 32 | 2.5 | 40 | 60 | 96 | 1 | 3 | 5 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| NSG01 | 125 | 30 | 2 | 87 | 150 | 230 | 1.45 | 5.1 | 15.1 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| NSG10 | 95 | 30 | 2 | 140 | 240 | 390 | 3.1 | 11.8 | 37.6 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| NSG03 | 135 | 30 | 1.5 | 47 | 90 | 150 | 0.35 | 1.74 | 6.1 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
| NSG30 | 125 | 40 | 4 | 240 | 320 | 440 | 22 | 40 | 100 | Au - (bare) |
- (bare) Au Ptlr |
※ティップコーティング(Au、PtIr)は導電性モードのSCM、SKM、SRI、EFM、I-Vカーブスペクトル測定、電圧リソグラフィに使用します。
磁気コーティング
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) |
力定数 (N/m) |
裏面 コート |
ティップ コート |
|||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±10μm |
幅 ±5μm |
厚み ±0.5μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | ||||
| MFM01 | 225 | 32 | 2.5 | 47 | 70 | 90 | 1 | 3 | 5 | Al | CoCr | |
| MFM_LM | 225 | 32 | 2.5 | 47 | 70 | 90 | 1 | 3 | 5 | Al | CoCr | |
| MFM_HC | 225 | 32 | 2.5 | 47 | 70 | 90 | 1 | 3 | 5 | Al | CoCr | |
| HA_FM/ CoFe |
A | 223 （±2） |
34 （±3） |
3 （±0.15） |
69.3 | 77 | 84.7 | 2.8 | 3.5 | 4.2 | Al | CoFe |
| B | 183 （±2） |
344 （±3） |
3 （±0.15） |
102.6 | 114 | 125.4 | 4.8 | 6 | 7.2 | |||
※磁気モード測定に使用します。
※MFM01 ： 高磁気分解能・長寿命プローブ
※MFM_LM ： 低モーメント・高磁気分解能プローブ
※MFM_HC ： 高保磁力・高磁気分解能プローブ
Tiplessプローブ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面 コート |
|||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±10μm |
幅 ±5μm |
厚み ±0.5μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | |||
| CSG01/tipless | 350 | 30 | 1 | 4 | 10 | 17 | 0.003 | 0.03 | 0.13 | Au | |
| NSG30/tipless | 125 | 40 | 4 | 240 | 320 | 440 | 22 | 40 | 100 | Au | |
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面 コート |
|||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±2μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.15μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | |||
| HA_NC/ tipless |
A | 94 | 34 | 1.85 | 211.5 | 235 | 258.5 | 6.4 | 8 | 9.6 | Au |
| B | 124 | 34 | 1.85 | 126 | 140 | 154 | 2.8 | 3.5 | 4.2 | ||
| HA_C/tipless | A | 264 | 34 | 1.85 | 33.3 | 37 | 40.7 | 0.52 | 0.65 | 0.78 | Au |
| B | 364 | 34 | 1.85 | 17.1 | 19 | 20.9 | 0.21 | 0.26 | 0.31 | ||
※カンチレバーにティップのないプローブ。
独自のティップを加えたり、平坦なものでサンプルに圧力を加える等に使用します。
DLCシリーズ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面 コート |
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±5μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.3μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | ||
| NSG01_DLC | 130 | 35 | 2 | 115 | 150 | 190 | 2.5 | 5.5 | 10 | Au |
| NSG10_DLC | 100 | 35 | 2 | 190 | 255 | 325 | 5.5 | 11.5 | 22.5 | Au |
スーパーシャープシリコンプローブ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±5μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.5μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | ||
| NSG30_SS | 125 | 40 | 4 | 240 | 320 | 440 | 22 | 40 | 100 | Al |
| FMG01_SS | 225 | 32 | 2.5 | 47 | 70 | 90 | 1 | 3 | 5 | Al |
| CSG10_SS | 225 | 30 | 1 | 8 | 22 | 39 | 0.01 | 0.11 | 0.5 | Al |
Whiskerシリーズ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±5μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.3μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | ||
| NSC05 | 100 | 35 | 2 | 190 | 255 | 325 | 5.5 | 11.5 | 22.5 | Au |
| CSC05 | 250 | 35 | 1 | 14 | 20 | 28 | 0.03 | 0.1 | 0.2 | Au |
VITシリーズ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±5μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.5μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | ||
| VIT_P | 140 | 50 | 5 | 200 | 300 | 400 | 25 | 50 | 95 | - (bare) |
| VIT_P/IR | 140 | 50 | 5 | 200 | 300 | 400 | 25 | 50 | 95 | - (bare) |
| VIT_P C-A | 450(±20） | 50(±1) | 2.5(±1) | 8 | 16 | 25 | 0.3 | 0.6 | 1 | - (bare) |
※チップ先端と測定位置を視認確認可能な飛び出し型プローブです。
DCPシリーズ
| シリーズ | カンチレバー | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 長さ ±5μm |
幅 ±3μm |
厚み ±0.3μｍ |
min | typical | max | min | typical | max | |||
| DCP01 | 130 | 35 | 2 | 115 | 150 | 190 | 2.5 | 5.5 | 10 | Au | |
| DCP10 | 100 | 35 | 2 | 190 | 255 | 325 | 5.5 | 11.5 | 22.5 | Au | |
| DCP20 | 90 | 60 | 2 | 260 | 420 | 630 | 28 | 48 | 91 | Au | |
| HA_HR_DCP | A | 93（±2） | 34 | 3（±0.15） | 342 | 380 | 418 | 27.2 | 34 | 40.8 | Au |
| B | 123（±2） | 34 | 3（±0.15） | 207 | 230 | 253 | 13.6 | 17 | 20.4 | Au | |
※高耐久性、耐摩耗性のある長寿命プローブ。不純物ドープにより導電性測定も対応します。
コロイダルプローブ
| シリーズ | コロイド材質 | コロイドサイズ (mm) | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CSG30_Bio270/Au | SiO2 | 270 | 26 | 48 | 76 | 0.13 | 0.6 | 2 | Au |
| CSG30_Bio650/Au | 650 | ||||||||
| CSG30_Bio900/Au | 900 | ||||||||
| FMG01_Bio270/Au | SiO2 | 270 | 50 | 60 | 70 | 1 | 3 | 5 | Au |
| FMG01_Bio650/Au | 650 | ||||||||
| FMG01_Bio900/Au | 900 | ||||||||
| NSG01_Bio270/Au | SiO2 | 270 | 87 | 150 | 230 | 1.45 | 5.1 | 15.1 | Au |
| NSG01_Bio650/Au | 650 | ||||||||
| NSG01_Bio900/Au | 900 | ||||||||
| シリーズ | コロイド材質 | コロイドサイズ (mm) | 共振周波数 (kHz) | 力定数 (N/m) | 裏面コート | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | ||||
| CPC_SiO2-A/Au | SiO2 | A5～9 | 8 | 21 | 37 | 0.01 | 0.14 | 0.6 | Au |
| CPC_BSG-A/Au | BSG | A5～9 | 8 | 21 | 37 | 0.01 | 0.14 | 0.6 | Au |
| CPC_BSG-B/Au | B10～14 | ||||||||
| CPC_BSG-C/Au | C15～19 | ||||||||
| CPC_BSG-D/Au | D20～ | ||||||||
| CPFM_SiO2-A/Au | SiO2 | A5～9 | 43 | 62 | 81 | 0.6 | 1.6 | 3.7 | Au |
| CPFM_BSG-A/Au | BSG | A5～9 | 43 | 62 | 81 | 0.6 | 1.6 | 3.7 | Au |
| CPFM_BSG-B/Au | B10～14 | ||||||||
| CPFM_BSG-C/Au | C15～19 | ||||||||
| CPFM_BSG-D/Au | D20～ | ||||||||
| CPN_SiO2-A/Au | SiO2 | A5～9 | 200 | 300 | 400 | 13 | 37 | 77 | Au |
| CPN_BSG-A/Au | BSG | A5～9 | 200 | 300 | 400 | 13 | 37 | 77 | Au |
| CPN_BSG-B/Au | B10～14 | ||||||||
| CPN_BSG-C/Au | C15～19 | ||||||||
| CPN_BSG-D/Au | D20～ | ||||||||
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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