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発塵検査装置 製品概要

発塵検査装置PARTi（PERSYS社製）は、クリーンルーム内で使用する（クリーンルームに持込む）物の清浄度を迅速に検査することができる新提案の発塵検査装置です。精密加工部品・試料容器・無塵衣・グローブ類などを専用チャンバー内に設置して、HEPAフィルターを通過さえたクリーンなエアーでブローして付着粒子を吹き飛ばし、装置下部搭載のパーティクルカウンターで発塵を計測します。検査物の前処理は不要で、専用サンプル治具も付属されており、多彩な発塵検査条件にて検査を行うことができます。検査物を液体に浸したり、ドラムで回転させたりする必要がないため、どんなものでも簡単に検査することができます。ユーザー独自の測定条件構築に便利で、ルーティン検査にも対応致します。
装置は、用途に合わせて測定粒子0.1～5.0μm用と0.3～5.0μm用の2種類をご用意しております。

特長

• クリーンルームで使用する製品の発塵検査 治具、試料容器、無塵衣、グローブ類など
• ユーザー独自の測定条件構築
• 多彩な発塵条件　ダウンフロー＆エアブロー
• 専用サンプル治具付属
• 有償デモ測定対応可能

装置概略図と寸法

専用サンプル治具（例、ウェハカセット、精密加工部品、無塵衣）

検査物を液体に浸したり、ドラムで回転させたりする必要がない為、ウェハカセットのような試料容器、精密加工部品、治具、無塵衣、グローブ類など、どんな検査物も迅速簡単測定できます。各種専用ホルダーも用意されております。

Cage

Hanger

Fixture for Cassettes

Fixture for Gloves

測定例

クリーンルーム用グローブの発塵検査、時間経過による発塵量減衰推移

制御用タッチスクリーン

検査する物に合わせたユーザー独自の測定条件を登録することが可能です。 ルーティン検査にも対応致します。

発塵検査装置 PARTiシリーズ ラインナップ

• PARTi-1：測定粒子サイズ0.1～5.0 μm
• PARTi-2：測定粒子サイズ0.3～5.0 μm

主な用途、アプリケーション

• クリーンルーム内で使用する（クリーンルームに持込む）物の清浄度検査
• 各種精密加工部品、治具、ウェハカセットの様な試料容器、無塵衣、グローブ類など

PERSYS社について

アメリカのシリコンバレーを中心に半導体産業向けの高度クリーンルーム内で使用する機材の部品洗浄、技術開発、生産、保守を手掛ける創業1988年のクリーン技術専門企業です。