製品概要
TigerOptics社のSpark H2Oは、キャビティリングダウン分光法(CRDS)によりサンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定を行うガス分析装置です。
従来の露点計などの水分測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。
用途
- 極微量水分濃度の計測・管理
- 半導体等製造工程中のガスモニタリング
- 湿度計測・湿度標準の研究開発
特長
- NIST準拠
- 高速応答・高感度・高精度・高信頼性
- 簡単操作・メンテナンスフリー
- コンパクトなワンボックス型
- 水分濃度（露点）計測に特化したローコストモデル
- 広い測定濃度範囲（N2ガス中のH2O濃度：15ppb～2000ppm）
- イーサネット・絶縁4mA-20mA出力・RS-232対応
キャビティリングダウン分光法 （Cavity Ring-Down Spectroscopy; CRDS）
レーザーダイオードからのレーザー光を、一対の高反射率ミラーを持つリングダウンキャビティセル内に入射します（図1）。
キャビティセルを透過する光強度を後方にあるフォトダイオードによって検出し、レーザー光の入射を遮断してからの光強度の減衰時間を測定します（図2）。
この減衰時間は、ミラーの反射率とキャビティセル内に存在するガス分子の吸収によって決まります。計測対象のガス分子の吸収ラインにレーザー波長を合わせて減衰時間を測定することにより、キャビティセル内にある計測対象のガス分子の濃度を求めることが出来ます。
図1. リングダウンキャビティセル
図2. ミラー反射とガス分子の吸収によるレーザー光量の減衰
共通仕様
| 濃度測定範囲 | 下表参照 |
| 最小検出限界(LDL) | 下表参照 |
| 感度(3σ) | 下表参照 |
| 精度(1σ) | ±0.75％ または感度の1/3(大きい方) |
| 正確度 | ± 4％ または最小検出限界(大きい方) |
| 応答速度 | ＜3 分 (90 ％応答) |
| 動作温度 | 10～40℃、湿度30～80％RH(但し結露しないこと) |
| 保存温度 | -10～50℃ |
ガス関連
| 接ガス面材質 | 316Lステンレス, 表面粗さ 10 Ra |
| ガス接続コネクタ | 1/4” VCR オス, 入口および出口 |
| 入口側圧力 | 10～125 psig (1.7～9.6 bara) |
| 流量 | ～ 1.4slpm |
| サンプルガス | 多くの不活性ガスおよび毒性ガスに対応 |
| ガス温度 | 最大 60 ℃ |
寸法および重量
| 標準型 H×W×D [mm (インチ)] |
222 × 216 × 599 (8.75 × 8.5 × 23.6) |
| 19インチラック型 H×W×D [mm (インチ)] |
222 × 483 × 599 (8.75 × 19 × 23.6) 最大2基のユニットを搭載可 |
| 重量 (標準型) | 14.5 kg (32 lbs) |
エレクトロニクス関連
| アラームインジケータ | ユーザープログラマブル x2, システムフォルト x1 (フォームCリレー) |
| 電源 | 90～240 VAC, 50/60 Hz |
| 消費電力 | 最大 40 W |
| 信号出力 | 絶縁 4-20mA 出力 |
| ユーザーインターフェイス | 5.7” LCD タッチスクリーン, 10/100 Base-T イーサネット, 802.11g ワイヤレス (オプション), RS-232 |
微量水分測定装置 Spark H2O
| 測定ガス種 | 測定濃度範囲 | 最小検出限界 | 感度 |
|---|---|---|---|
| N2ガス中のH2O | 0～2000 ppm | 15 ppb | 12 ppb |
| O2ガス中のH2O | 0～1000 ppm | 7 ppb | 6 ppb |
| Arガス中のH2O | 0～900 ppm | 6 ppb | 4.5 ppb |
| Heガス中のH2O | 0～450 ppm | 4 ppb | 3 ppb |
| H2ガス中のH2O | 0～1750 ppm | 10 ppb | 7.5 ppb |
| 乾燥空気(CDA)中のH2O | 0～1800 ppm | 14 ppb | 10 ppb |
| Neガス中のH2O | 0～450 ppm | 40 ppb | 30 ppb |
| Krガス中のH2O | 0～1100 ppm | 7 ppb | 5.5 ppb |
| Xeガス中のH2O | 0～1300 ppm | 10 ppb | 7.5 ppb |
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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