

製品概要
- ・Enviro METROS LAB:サンプルサイズ最大80×80mm対応
- ・Enviro METROS FAB:8インチ、12インチウェハ対応
"Envio METROS"は、これまでのX線光電子分光装置の常識を打ち破る画期的な製品です。
圧力環境を超高真空から準大気圧(オプション)まで変化させることにより、これまでは不可能であった生体サンプルや固液、気固界面でのオペランド計測が可能となります。また、準大気圧環境で使用可能なUPS光源やIRRAS、SEMなどのバラエティ豊かなオプションにより、様々な測定をこの1台で行うことが可能です。
特長
- 幅広い圧力範囲:UHV~NAP(5000 Pa)まで対応
- サンプル搬送から測定まで全自動
- マルチカラーX線源(Al, Ag, Cr)
- 取込角:±30°
- 深さ分析
- 8、12インチウエハをそのまま測定
- 豊富なオプション (Raman、IRRAS、SEM、IPES)
- ユーザーフレンドリーな専用ソフトウェア

更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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