製品概要
Standa社は、各種自動ステージやアクチュエーターおよびコントローラーを製造しています。真空対応モデルは、10-6 Torrに対応しています。真空対応コネクターや各種真空フィードスルーも取り扱っております。
真空対応自動ステージの構成
上記図の説明
- 1）Standa社の各種真空対応自動ステージ
- 2）保護材にKapton または TPFEを使用した2メートル長のケーブル
付属のコネクターはテスト用 - 3）真空対応コネクター
使用する真空フィードスルーに合わせたコネクターを用意。
Standa社は9または15ピンのD-subコネクターを保有しています。 - 4）真空フィードスルー
CFフランジが標準。各種真空フィードスルーも用意できます。特注対応も可能です。 - 5）標準ケーブルとコネクター
大気側で使用します。 - 6）モーターコントローラー
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