

オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM 概要
本装置は、光学薄膜の成膜中および成膜後に真空チャンバー内で光学特性を測定する為の装置です。成膜装置などに組み込んでの測定に最適な装置です。
特長
- 高精度、広帯域での光学特性モニター可能
- タッチスクリーン操作で素早く測定
用途
- 光学素子の多層膜コーティングのモニタリング
- 蒸着材料の発光スペクトル測定
- 多層膜コーティング光学素子の反射・透過特性測定
オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM仕様
型名 | S125 | M450 |
分光装置 | シングル分光器 | ダブル分光器 |
焦点距離 | 125 mm | 450 mm (225 mm× 2) |
分光レンジ | 380 ~ 1100 nm | 380 ~ 850 nm |
分光器スリット | 固定 0.04mm | 可変 0.2~2mm |
最少測定時間 | 2 ms/スペクトル | 2 ms/点 |
最少波長間隔 | 0.37 nm/pixel | 0.1 nm |
波長設定絶対誤差 | ±0.4 nm | ± 0.2 nm |
波長設定繰返し精度 | ± 0.2 nm | ± 0.1 nm |
測光ノイズ | ±0.07% | ±0.02% |
測光精度 | ±0.5% | ±0.2% |
測光繰返し精度 | ±0.15% | ±0.05% |
迷光 | 0.1% (@ λ=450nm) | 0.005% (@ λ=400nm) |
検出器 | CCD | PMT |
発光スペクトル測定オプション | あり | なし |
入力方式 | ファイバー接続 | |
接続インターフェイス | Ethernet , USB , RS232 , VGA , PS/2 | |
寸法 | 483×600×177mm | |
重量 | 25kg |
更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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