オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM 概要
本装置は、光学薄膜の成膜中および成膜後に真空チャンバー内で光学特性を測定する為の装置です。成膜装置などに組み込んでの測定に最適な装置です。
特長
- 高精度、広帯域での光学特性モニター可能
- タッチスクリーン操作で素早く測定
用途
- 光学素子の多層膜コーティングのモニタリング
- 蒸着材料の発光スペクトル測定
- 多層膜コーティング光学素子の反射・透過特性測定
オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM仕様
| 型名 | S125 | M450 |
| 分光装置 | シングル分光器 | ダブル分光器 |
| 焦点距離 | 125 mm | 450 mm (225 mm× 2) |
| 分光レンジ | 380 ～ 1100 nm | 380 ～ 850 nm |
| 分光器スリット | 固定 0.04mm | 可変 0.2～2mm |
| 最少測定時間 | 2 ms/スペクトル | 2 ms/点 |
| 最少波長間隔 | 0.37 nm/pixel | 0.1 nm |
| 波長設定絶対誤差 | ±0.4 nm | ± 0.2 nm |
| 波長設定繰返し精度 | ± 0.2 nm | ± 0.1 nm |
| 測光ノイズ | ±0.07％ | ±0.02％ |
| 測光精度 | ±0.5％ | ±0.2％ |
| 測光繰返し精度 | ±0.15％ | ±0.05％ |
| 迷光 | 0.1% (@ λ=450nm) | 0.005% (@ λ=400nm) |
| 検出器 | CCD | PMT |
| 発光スペクトル測定オプション | あり | なし |
| 入力方式 | ファイバー接続 | |
| 接続インターフェイス | Ethernet , USB , RS232 , VGA , PS/2 | |
| 寸法 | 483×600×177mm | |
| 重量 | 25kg | |
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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