製品概要
SPM校正用グレーティングです。御用途に合わせて最適なものを選択できます。
SPM測定の練習用、学生実験用などにもご使用頂けます。
TGZ
特長
Z軸の較正およびノンリニアリティの検出に使用する、長さのある凹凸が繰り返されたグレーティングです。
5種類のサイズから選べます。
用途
・Z軸較正
・ノンリニアリティ検出
TGG1
特長
マイクロメーター単位の平行な稜線が並んだ、グレーティングです。
用途
・X軸またはY軸の較正
・横方向、垂直方向のノンリニアリティの検出
・角変形の検出
・tip特性
TGQ1
特長
X軸、Y軸、Z軸較正およびノンリニアリティ測定用のグレーティングです。
用途
・X、Y、Z方向の同時較正
・横方向較正、横方向ノンリニアリティの検出
・ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出
TGT1
特長
使用するカンチレバーのtip形状のパラメーターを検討するためのグレーティングです。
用途
・スキャニングtipの3-D視覚化
・tip 形状のパラメーター（アスペクト比、曲率半径）、tipの劣化、コンタミネーションコントロールの決定。
TGX1
特長
横方向較正およびノンリニアリティ測定用の、四角柱の縁下を鋭く切り取ったものをアレイしたグレーティングです。
用途
・横方向較正
・横方向ノンリニアリティの検出
・ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出
・tipのアスペクト比の決定
TDG01
特長
X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正用のグレーティングです。
用途
・X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正
TDG01_Au
特長
X軸またはY軸でのサブミクロン単位でのSTM較正用のグレーティングです。
用途
・X軸またはY軸でのサブミクロン単位でのSTM較正
TGZ
| 型名 | TGZ1 | TGZ2 | TGZ3 | TGZ4 |
|---|---|---|---|---|
| 構造 | シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成 | |||
| 形成パターン | 1- D (Z軸方向) | |||
| ステップ高 | 21.6±1.5nm | 107±2nm | 560±4nm | 1317±10nm |
| 周期 | 3±0.05μm | |||
| チップサイズ | 5×5×0.5mm | |||
| 有効範囲 | 3×3 (中央部)mm | |||
TGG1
| 構造 | シリコンウェハ上に形成 |
| 形成パターン | 正確な直線と角度サイズを持つ三角形ステップを持つ1- D |
| エッジ角 | 70° |
| エッジ半径 | 10nm |
| 周期 | 3±0.05 μm |
| チップサイズ | 5×5×0.5 mm |
| 有効範囲 | 3×3 (中央部) mm |
- *1：参考値です。垂直方向の較正にはご使用頂けません。
TGQ1
| 構造 | シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成 |
| 形成パターン | 小さな正方形の3-Dアレイ |
| 周期 | 3.0±0.05 μm |
| 高さ | 20 ±1.5 * nm |
| 正方形のサイズ | 1.5±0.35 μm |
| チップサイズ | 5×5×0.5 mm |
| 有効範囲 | 3×3 (中央部) mm |
- *1：300個のグレーティングのバッチから5個のグレーティングの測定値の平均値です。
- 基本のステップ高は10％以内の差異を含みます。
TGT1
| 構造 | シリコンウェーハ上に形成 |
| 形成パターン | シャープなティップのアレイ |
| ティップ角 | 50±10 ° |
| ティップ曲率半径 | 10 nm |
| 周期 | 3±0.05 μm |
| 対角の周期 | 2.12 μm |
| チップサイズ | 5×5×0.5 mm |
| 有効範囲 | 2×2 (中央部) mm |
| 高さ | 0.3-0.5 μm |
TGX1
| 構造 | シリコンウェーハ上に形成 |
| 形成パターン | 縁の下を鋭く切り取った四角柱アレイ |
| 周期 | 3±0.05 μm |
| エッジ曲率半径 | <10nm |
| チップサイズ | 5×5×0.5 mm |
| 有効範囲 | 3×3 (中央部) mm |
| 高さ | 0.6μm * |
TDG01
| 型名 | TDG01 | TDG01_Au |
|---|---|---|
| 構造 | ガラスフェーハ | |
| カルコゲナイドガラス層上に形成 | ||
| グレーティング表面はアルミニウム | グレーティング表面はAu導電性コーティングあり | |
| 形成パターン | 1- D (XまたはY軸方向) | |
| パターン高 | > 55nm (良好なイメージコントラストを提供) | > 50nm (良好なイメージコントラストを提供) |
| ジオメトリー | 平行な稜線 | |
| 周期 | 278nm (3600 周期/mm) | |
| 精度 | ±1nm | |
| チップサイズ | 直径 12.5mm, 厚み 2.5mm | |
| 有効範囲 | 直径9mm (中央部) | |
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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