産業用高出力ピコ秒レーザー Atlanticシリーズ
UV用オプティクス 8000時間保証、レーザーアブレーション(微細加工)に最適

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産業用高出力ピコ秒レーザー Atlanticシリーズ 産業用高出力ピコ秒レーザー Atlanticシリーズ

製品概要

本レーザーは、優れたビーム品質、平均出力(80W @ 1064nm(IR)、 40W @ 532nm、30W @355nm(UV))、パルスエネルギー(200μJ @ 1064nm、100μJ @ 532nm、75μJ @355nm)および繰返し周波数(最大1MHzまで向上)の特長を有するため、高精度かつ高スループットな加工を実現します。

LCDまたはOLEDディスプレイの切断および穴あけ、レーザー誘起転写法(LIFT)、ガラスおよびサファイア加工、超硬のマイクロマシニング、シリコンスクライビング、太陽電池スクライビングなど、さまざまな微細加工がおこなえます。

産業用高出力UVレーザーは、システムの信頼性とコストパフォーマンスが重要視されています。Atlantic UVの光学系は、UV領域での使用に最適化されており高い安定性を発揮しています。また動作時間は8,000時間保証されています。

また、2-in-1のオプション機能を付けることにより、ピコ秒モードとナノ秒モードの両方で使用できるようになります。
このオプション機能は、ガラスやセラミックなどの材料加工に適しています。

優れたレーザー制御機能により、繰り返し周波数とパルスエネルギーの可変、パルス外部同期が行えます。加工の要求に合わせて最適化が行えます。また、ポリゴンスキャナーのための位置同期出力(PSO)も備えています。

特長

  • UV用オプティクス 8000時間保証
  • 平均出力:最大80W @ 1064nm
  • 繰返し周波数:最大1MHz
  • パルスエネルギー:200μJ @ 1064nm
  • パルス幅:10 ps
  • 優れたビーム品質 (TEM00  M2<1.3)
  • 優れたコストパフォーマンス
  • ナノ秒パルス幅切り換え(オプション)

用途

  • 掘削
  • ポリマーの切断と穴あけ
  • パターニング
  • 構造化
  • アブレーション
  • ダイシング
  • 微細加工
  • 光重合
  • LCD、OLEDディスプレイの切断および穴あけ
  • LIFT
  • ガラスおよびサファイアの構造化とダイシング
  • セラミックス微細加工
  • PCDのドリルとトレース
  • シリコンスクライビング
  • 太陽電池スクライビング
  • PET、PP、PTFE、シリコーンの切断と穴あけ

材料

  • 各種金属
  • ガラス、セラミック、サファイア、PCDなどの脆性材料
  • ケイ素
  • PET、PP、PI、PTFE
  • シリコーン
  • PCB
  • LCD、LED、OLED、microLEDディスプレイパネル
  • 太陽電池

微細加工事例

切断/構造成型

ニチノールのステントカット

ニチノールのステントカット

PMMAの構造成型

PMMAの構造成型

インバー薄膜のスロットカット

インバー薄膜のスロットカット

LCDガラスフィルターのカット

LCDガラスフィルターのカット

SCM420の貫通穴あけ

SCM420の貫通穴あけ サンプル表面

サンプル表面

SCM420の貫通穴あけ サンプル裏面

サンプル裏面

SCM420の貫通穴あけ サンプル断面

サンプル断面

薄膜太陽電池のパターニング加工(CIGS)

薄膜太陽電池のパターニング加工(CIGS)
薄膜太陽電池のパターニング加工(CIGS)

P3(355nm、50kHz、300mm/s), 赤部を拡大

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)
薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

P1(1064nm、100kHz、800mm/s)

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

P2(532nm、100kHz、900mm/s)

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

P3(532nm、100kHz、900mm/s), 赤部を拡大

産業用高出力ピコ秒レーザー Atlanticシリーズ 仕様

型名 Atlantic 6HE Atlantic 25 Atlantic 50 Atlantic 80
中心波長 1064 nm, 532 nm, 355 nm
出力波長を複数選択可能(オプション)
繰返し周波数 30 kHz 200~1000 kHz 300~1000 kHz 400~1000 kHz
分周機能 繰返し周波数÷1, 2, 3 〜 1025
最大平均出力
1064 nm 6 W 25 W 50 W 80 W
532 nm 3 W 12 W 25 W 40 W
355 nm 2 W 8 W 18 W 30 W
パルスエネルギー
1064 nm 200 µJ 125 µJ 165 µJ 200 µJ
532 nm 100 µJ 60 µJ 85 µJ 100 µJ
355 nm 75 µJ 40 µJ 60 µJ 75 µJ
パルスコントラスト
1064 nm > 300 : 1
532 nm > 500 : 1
355 nm > 1000 : 1
出力安定性
(8時間運転、標準偏差)
< 1.0 %
パルスエネルギー安定性 (標準偏差)
1064 nm < 1.0 %
532 nm < 2.0 %
355 nm < 2.5 %
パルス幅
(FWHM, 1064 nm)
10 ± 3 ps
偏光 直線, 縦横比 100 : 1
ビーム品質 < 1.3
ビーム楕円率 > 0.85
ビーム発散角 < 1.5 mRad
ビーム位置安定性 < 50 µRad
ビーム経(1/e2、アパーチャーから50cmの位置)
1064 nm 1.8 ± 0.3 mm
532 nm 2.2 ± 0.3 mm
355 nm 2.0 ± 0.3 mm
トリガー internal / external
出力制御 周波数分周器, パルスピッカー, 
振幅コントロール, パワーアッテネーター
システム
インターフェース
keypad / USB / RS232 / LAN
ユーティリティ
動作電圧 100…240 V AC, 単相 47...63 Hz
最大消費電力 < 2.8 kW < 2.8 kW < 3.1 kW < 3.5 kW
温度 18~27 °C
湿度 10~80 % (結露なきこと)
大気レベル ISO 9 (room air) or better
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