製品概要
RGA100, RGA200, RGA300型残留ガス分析計は低価格な真空系における残留ガスの分析装置です。ガス分析には四重極質量分析計を採用し、ファラデーカップまたはチャンネルトロン（オプション）で検出します。プローブはオープンソースタイプのデュアルThoriated Iridiumフィラメントを採用しています。専用のソフトウェアが標準で付属しPCから完全な制御が可能です。 ガス分析器部分は簡単に分解することが可能でクリーニング等のメンテナンスもやりやすい設計になっています。 任意の質量数の分圧変化のモニターなどプロセスモニター用途でもご使用頂けます。
特長
- 100, 200, 300 amuシステム
- 測定分解能1 amu以下
- 最小検知分圧6.7× 10-12 Pa (RGA)
- 1 ppm検出 (CIS)
- 動作圧力1.33 Pa (最大,CIS)
- 専用ソフトウェア付属(Windows版)
- マルチヘッドオペレーション
- RS232インターフェイス
用途
- 真空装置の残留ガス分析
- プロセス管理、リークチェック
残留ガス分析計(RGAおよびCISシリーズ) 仕様
| 質量数測定範囲 | ||
| RGA100, CIS100 | 100 amu | |
| RGA200, CIS200 | 200 amu | |
| RGA300, CIS300 | 300 amu | |
| 質量分析器 | 四重極質量分析計 | |
| 検出器 | ファラデーカップ（FC,標準）CEM,（RGAはオプション） | |
| 質量分解能 | 0.5 amu以上 | |
| 感度（A/Torr） | 2×10-4（FC）, ＜200（CEM） | |
| 最小検知分圧 | RGA CIS |
6.7×10-9 Pa（FC）, 6.7×10-12 Pa（CEM） 1.3×10-8 Pa＊1（CISモード）, 1.3×10-9 Pa＊1（RGAモード） |
| 動作圧力条件 | RGA CIS |
0.013 Pa～UHV（FC）1.3×10-3 Pa～UHV（CEM） 1.3 Pa以下 |
| ベーキング温度（ECU無し） | ||
| イオナイザー | RGA CIS |
オープンイオン化源 クローズドイオン化源 |
| フィラメント | RGA ThO2/Ir CIS ThO2/Irまたはタングステン |
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| 電子エネルギー（V） | 25～105（プログラマブル） | |
| イオンエネルギー（V） | 8または12V（プログラマブル） | |
| フォーカス電圧（V） | 0～150V（プログラマブル） | |
| 電子放射電流（mA） | 0～3.5（プログラマブル） | |
| その他 | ||
| プローブ寸法（cm） | 22.2（フランジ面からメッシュ上部） | |
| 接続ポート | ICF70 | |
| ECU寸法（cm） | 7.9（W）×10.4（H）×23.1（D）（プローブ取外し可） | |
| 電源 | 24 VDC@2.5 A Op.2追加で100 VACから取得可 | |
| オプション | ||
| 01 | CEM（HV電源付）＊2 | |
| 02 | AC電源 | |
| 03 | 高速イオンカウンティング用出力＊2 | |
| O100REA | Ethernetアダプタ | |
| O100HJR | RGA用ヒータージャケット＊2 | |
| O100MAX | RGA用アナライザープローブ＊2 | |
| O100RF | 交換用ThO2/Irフィラメント＊2 | |
| O100RI | 交換用イオナイザーキット＊2 | |
| O100EM | 交換用CEM | |
| O100HJC | CIS用ヒータージャケット＊3 | |
| O100RFT | 交換用ThO2/Irフィラメント（2個セット）＊3 | |
| O100RFW | 交換用タングステンフィラメント（5個セット）＊3 | |
| O100RDP | ターボ分子ポンプ（ダイアフラムポンプ付）＊3 | |
- ＊1CEM使用時、＊2RGA用オプション、＊3CIS用オプション
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
|---|---|---|---|
| 2015/10/01 | RGA ソフトウェア (Ver. 3.218.004) Windows用 |
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| 2015/10/01 | LabVIEW Development Kit for LabVIEW v8.5 | 2800936 |
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