完全自動制御、高精度搬送システム、高効率バッチ処理、高メンテナンス性

MBE成膜システム

DI01

DCA Instruments

様々な材料特性・プロセス条件に対応する豊富なラインナップ
真空を維持したまま交換・再充填が可能
DCA製MBEチャンバーとの高い互換性と最適化設計

MBE用蒸着源

DI02

DCA Instruments

高純度オゾン供給、完全自動制御、低ランニングコスト、安全運転

小型オゾン供給システム

DI03

DCA Instruments