広範な産業技術領域において、必須のキーテクノロジーとなっている光技術の最新動向を提供する情報誌「月刊OPTRONICS」に弊社製品広告を掲載中です。
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imec AttolabにてKMLabs社製13nmEUV光源を用いて、高NA・EUV干渉リソグラフィの実証を行いました。
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・ナノ秒高繰返し波長可変レーザー(OPO) NT242シリーズ
・OPCPA 波長可変フェムト秒レーザー UltraFlux