半導体・ディスプレイ：歪み・偏光評価
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空間分解能200ナノメートル、用途に合わせてカスタマイズ可能
3D顕微レーザーラマン分光装置 Nanofinder 30A (ADVANCED TYPE)
- Demo
NF06
Tokyo Instruments Inc.
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２種類の励起レーザーを標準搭載、切り替え可能
原子間力顕微鏡(AFM)や走査型近接場光顕微鏡(SNOM)との組み合わせ可能モジュラー型3D顕微レーザーラマン分光装置 Nanofinder FLEX2
NF04
Tokyo Instruments Inc.
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共焦点ラマン・TERS(Tip-Enhanced Raman Scattering)顕微鏡のハイエンドモデル
3D顕微レーザーラマン分光装置 Nanofinder HE
NF01
Tokyo Instruments Inc.
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400～800nm (拡張900nm)の各波長の偏光状態(ストークスベクトル)を測定。
紫外や近赤外領域も対応可能。 複屈折やミュラー行列測定オプションあり。分光ポラリメーターPoxi-spectra™
- Demo
PX01
Tokyo Instruments Inc.
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分光ポラリメーターの追加オプションです。
複屈折分散、最大10万nmの高次複屈折測定。Rthの測定可能分光複屈折測定装置 (Poxi-spectra追加オプション)
- Demo
PX02
Tokyo Instruments Inc.
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分光ポラリメーターの追加オプションです。
各波長のミュラー行列を測定し、複屈折、旋光性、線二色性、円二色性、偏光解消を解析。分光ミュラー行列ポラリメーター (Poxi-spectra追加オプション)
- Demo
PX03
Tokyo Instruments Inc.
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シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査
切断前のSiインゴットの測定にも対応赤外複屈折位相差測定装置 Exicor PV-Si
HN13
HINDS Instruments
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