2025年03月05日
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2025年3月12日(水)~ 2025年3月13日(木)に開催される「表面技術協会 第151回講演大会」にて、当社スタッフが学会発表(ポスターセッション)を行います。

発表要領

・表面弾性波イメージング : ブリルアン顕微鏡法の応用

発表ではブリルアン顕微鏡を用いた、顕微鏡下でのSiウェハ上のSiO2薄膜のバルク弾性波(BAW)と表面弾性波(SAW)の同時観測と2次元イメージングについて報告をいたします。ブリルアン散乱光は光子が音響フォノンに散乱されて発生します。励起光からの周波数シフトから薄膜、多層膜などの弾性特性を非破壊で評価できます。本研究では、異なる厚さのSiO2薄膜のSAW、BAWの強度および周波数変化を顕微鏡下で2次元イメージとして観測することができました。

発表者

・ベルツ モルテン
・ディレヴィヤンチュク ドゥミトリ
・クドゥリヤショフ イゴール
・河村 賢一

表面技術協会 第151回講演大会 概要

本学会は、表面解析・表面分析、表面物性、表面機能応用(触媒、センサーなど)、電析応用(金属微粉・電池など)、腐食・防食、微細加工プロセス(半導体など)について発表が行われます。

・ 期間 : 2025年3月12日(水)~ 2025年3月13日(木)
・ 発表(ポスターセッション)日時 : 2025年3月12日(水)14時15分 〜 15時45分
・ 会場 : 東京都市大学 世田谷キャンパス
・ プログラムNo. : P-25
コチラよりプログラムをご確認いただけます

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開催状況 終了しました
期間 2025年03月12日(水)2025年03月13日(木)
会場 東京都市大学 世田谷キャンパス
プログラムNo. : P-25
会場URL https://www.sfj.or.jp/meeting/151/index.html