2025年3月12日（水）～ 2025年3月13日（木）に開催される「表面技術協会 第151回講演大会」にて、当社スタッフが学会発表（ポスターセッション）を行います。

発表要領

・表面弾性波イメージング : ブリルアン顕微鏡法の応用

発表ではブリルアン顕微鏡を用いた、顕微鏡下でのSiウェハ上のSiO2薄膜のバルク弾性波（BAW）と表面弾性波（SAW）の同時観測と2次元イメージングについて報告をいたします。ブリルアン散乱光は光子が音響フォノンに散乱されて発生します。励起光からの周波数シフトから薄膜、多層膜などの弾性特性を非破壊で評価できます。本研究では、異なる厚さのSiO2薄膜のSAW、BAWの強度および周波数変化を顕微鏡下で2次元イメージとして観測することができました。

発表者

・ベルツ モルテン
・ディレヴィヤンチュク ドゥミトリ
・クドゥリヤショフ イゴール
・河村 賢一

表面技術協会 第151回講演大会 概要

本学会は、表面解析・表面分析、表面物性、表面機能応用（触媒、センサーなど）、電析応用（金属微粉・電池など）、腐食・防食、微細加工プロセス（半導体など）について発表が行われます。

・ 期間 : 2025年3月12日（水）～ 2025年3月13日（木）
・ 発表（ポスターセッション）日時 : 2025年3月12日（水）14時15分 〜 15時45分
・ 会場 : 東京都市大学 世田谷キャンパス
・ プログラムNo. : P-25
→ コチラよりプログラムをご確認いただけます

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