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光源・電子源:軟X線/真空紫外光源

  • 発振波長116/121.56/126/147/172nm、発光部サイズ微小1mm3

    高輝度真空紫外光源

    ET01

    Excitech GmbH

  • 波長範囲 115~370nm用の重水素光源。MgF2窓付30W高出力ランプ。

    真空紫外重水素光源

    MC04

    McPherson

  • 波長範囲 25~200nm用のガス注入型光源。ガスの切替えで様々な波長の光を出力。

    真空紫外ホロカソード光源

    MC05

    McPherson

  • 波長範囲0.8~30nm用の光源。アノードターゲットの交換により広い波長域をカバー。

    軟X線光源

    MC03

    McPherson