光学部品:除振台

  • SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置に後付けできる革新的アクティブ除振台
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    アクティブ除振台

    KS02

    K&S Advanced Systems

  • 光学顕微鏡の除振、真空ポンプの振動の影響を大幅低減、定盤の除振
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    パッシブ除振台

    KS03

    K&S Advanced Systems