TOKYO INSTRUMENTS,INC. 株式会社東京インスツルメンツ
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分析装置:カソードルミネッセンス
分析装置:カソードルミネッセンス
走査型電子顕微鏡(SEM)とカソードルミネッセンス(CL)の統合システム、時間分解測定も可能
低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin
TT01
attolight
STEM(走査型透過電子顕微鏡)にCL、PL測定機能を追加。近赤外光の検出も可能!
STEM用 CL/PL測定システム Monch
仕様更新
TT02
attolight
ウエハ測定が可能、超高感度・超高速、フィードバック時間の劇的改善
半導体ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Santis300
TT03
attolight
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