平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。

この度、LAMBDA Technologies社より、樹脂の高速硬化やウエハの低温アニーリングに最適な、可変周波数マイクロ波（VFM）オーブンの「高出力モデル（最大出力1.6 kW）」のデモ機を導入いたしました。

デモ機詳細

・最大出力 : 1.6 kW（旧デモ機VariWaveの約9倍）
・窒素パージ : 対応・加熱（空気/窒素）: 対応
・温度センサ : 放射温度計 1個、プローブ温度計 2個
・対応ウエハ : 最大300 mm
・対応ウエハ枚数 : 1枚（300 mmウエハ）

現在、本装置を活用した有償でのデモが可能です。
デモをご希望の際は、以下よりお気軽にお問い合わせください。
なお、デモの基本料金は、テスト内容によって変化します。詳細はお問い合わせください。

製品概要

本製品は、「樹脂の高速硬化かつ精密接着」を可能とする、特許VFM技術（Variable Frequency Microwave）を搭載した周波数可変型のマイクロ波オーブンです。一般の電子レンジや工業用マイクロ波加熱装置では、2.45 GHzの固定周波数が使用されますが、VFMでは5 ~ 7 GHz帯を高速で掃引して使用します。このVFM技術により、庫内全体の均一加熱、金属物の投入、加熱対象物のフィードバック温度制御が可能など、従来のマイクロ波加熱の常識を覆す多くの特長を有しています。
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