半導体・ディスプレイ:マイクロ波硬化

  • 波長範囲 115~370nm用の重水素光源。MgF2窓付30W高出力ランプ。

    真空紫外重水素光源

    MC04

    McPherson

  • 波長範囲0.8~30nm用の光源。アノードターゲットの交換により広い波長域をカバー。

    軟X線光源

    MC03

    McPherson

  • 低温硬化によるCTEミスマッチ抑制
    反りや歪みが無い精密製品組み立て

    接着剤・樹脂硬化用 マイクロ波オーブン

    LM01

    Lambda_Technologies

  • 電子、イオン、高エネルギーフォトン 2次元検出器。検出面、ポア径、組合せ段数等、豊富なセレクション。

    マイクロチャンネルプレート(Long-Life™MCP)

    GL01

    PHOTONIS(Burleブランド旧ガリレオ)

  • マウント付MCPにより装置への組込が容易。TOF用APDもセレクション多数。

    組立てMCP(Advanced Performance Detector)

    GL04

    PHOTONIS(Burleブランド旧ガリレオ)

  • 高ゲイン2次電子増倍管(電子、イオン、高エネルギーフォトンの検出)

    チャンネルトロン

    GL02

    PHOTONIS(Burleブランド旧ガリレオ)

  • MCP検出器とディレイライン読出しによる電子、イオン、高エネルギーフォトンの検出。デジタル出力装置により位置・時間の同時計測、高速時間分解能

    高速MCP位置/時間検出システム

    RD01

    RoentDek

  • 紫外~可視~近赤外用高精度分光器。 焦点距離20cm~2m 分光波長範囲185nm~78μm

    高精度分光器

    MC01

    McPherson

  • 高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリット搭載の真空紫外分光器。 真空紫外~紫外領域の分光計測に最適。

    真空紫外分光器

    MC02

    McPherson

  • 高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリット搭載の軟X線分光器。 軟X線~紫外領域の分光計測に最適。

    軟X線分光器

    MC06

    McPherson