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・6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド
・真空用自動ステージ
・超短パルス極紫外(EUV)光源 Pantheon
・SFG(和周波発生)分光システム
・表面と真空 7月号|フェムト秒レーザー、SPECS社製エネルギーアナライザー、X線光電子分光
・表面と真空 6月号|SPECS社製エネルギーアナライザー、X線光電子分光、フェムト秒レーザー