超解像イメージング顕微鏡 NANORO
半導体、グラフェンなどの材料観察に最適
フルカラーで100nmの空間分解能を達成した世界で初めての超解像イメージング顕微鏡

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超解像イメージング顕微鏡 NANORO 超解像イメージング顕微鏡 NANORO

超解像イメージング顕微鏡 NANORO 製品概要

LIGNANOWAISE社の「超解像イメージング顕微鏡 NANORO」はSMAL (超解像マイクロスフィアレンズ)を内蔵することにより、 フルカラーで100nmの空間分解能を達成した世界で初めての超解像イメージング顕微鏡です。 スキャン範囲、最大200μm×200μmまで非破壊測定が行えます。 また、標準対物レンズとSMALとの切り替え測定も可能です。
操作は簡単で、特別なトレーニングを受ける必要がなく、誰でもすぐに測定が始められます。
半導体、グラフェンなどの材料観察の用途に最適です。

*SMAL : Super-resolution Microsphere Amplifying Lens

特長

  • 回折限界を越える100nm空間分解
  • フルカラー(白色光観察)
  • 標準対物レンズとSMALとの切替観察可能
  • 非破壊測定
  • 簡単操作、特別なトレーニング不要
  • 半導体、グラフェン等の材料観察に最適

超解像イメージング顕微鏡 NANORO  測定データ

半導体イメージング|明視野観察とNANOROとの比較

明視野観察(100倍oil対物レンズ)

NANORO(SMAL):20×20μmスキャン

半導体イメージング 100nm分解能

左の図から明視野観察(100倍oil対物レンズ)、SEM、NANORO(SMAL)

グラフェンイメージング

明視野観察(100倍oil対物レンズ)

超解像イメージング顕微鏡 NANORO 仕様

対物レンズ SMAL (水浸/油浸,作動距離:1~3μm),
100x, 40x, 10x
カメラ 12 MP sCMOS
XYステージ 移動範囲:50×50 mm
Zステージ 移動範囲:60 mm
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