6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド
6つの自由度 (X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー) を備え、物体の高精度な位置決めや移動を実現。
光学機器・大型機器まで幅広いラインナップ。

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6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド 6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド

製品概要

SYMETRIE社は2001年に創業し、革新的なヘキサポッドを提供しております。
ヘキサポッドの平行キネマティック機構は6軸自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)を持ち高精度、高分解能かつ高剛性を実現しています。独自の優れたソフトウェアにより回転中心点を自由に設定が行え、容易にコントロールすることが可能です。

新製品

非磁性モデルも販売開始。

非磁性モデルのヘキサポッド
非磁性モデルのヘキサポッド

6軸自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)

高精度位置調整・軸調整が行えます。

6軸自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)

「高重量対応モデル」から「真空対応モデル」まで幅広いラインナップ

NanoPos 超小型モデル、ピエゾ駆動(ナノメートル分解能)
MAUKA 小型モデル
BORA 高精度、小型モデル
PUNA 簡易モデル
BREVA 高精度、中型モデル
ZONDA 高安定、高精度
SIRIUS 高精度、大型モデル
KUBAN 高精度、高荷重、中型モデル
JORAN 高精度、高荷重、大型モデル
6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド ラインナップ
放射光ミラーチャンバー
天体望遠鏡副鏡の調整

特長

  • 積層ステージと比較してコンパクト、ケーブルの移動なし
  • 高精度・分解能:10 nm~数十 μm
  • 高耐荷重:数グラム~数トン
  • 長い移動量
  • 10-9 mbarの高真空にも対応可能
  • 低クロストーク、強固
  • 専用コントローラーで制御
  • 自由にピボットポイント(回転中心)を設定可能
  • アブソリュートエンコーダ(オプション)
  • カスタマイズ可能な制御ソフトウェア

カスタマイズ可能な制御ソフトウェア

  • SYM Positioning(標準制御ソフト)
  • EPICS、TANGO、SPEC
  • LabView、C、Python、MATLABなどの各種言語による制御
カスタマイズ可能な制御ソフトウェア

用途

  • 宇宙望遠鏡や観測衛星の地上試験、電波望遠鏡
  • 放射光施設での光学ミラー駆動(シンクロトロン)やサンプルの精密駆動(X線散乱)
  • EUV露光装置
  • X線回折装置など

上記は一例です。その他にも多くの分野にてご使用いただけます。

詳細はこちらへ(Symetrie社のWebサイトへリンク)

放射光ミラーチャンバー

放射光ミラーチャンバー

天体望遠鏡副鏡の調整

天体望遠鏡副鏡の調整

真空対応モデル(10-9 mbar)

真空対応モデル(10-9 mbar)

Movie

6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド 仕様

型名 NanoPos BORA PUNA BREVA
タイプ ミニチュア
ピエゾ駆動
高精度
コンパクト
簡易 高精度
中型
移動量 ± 5 mm /
± 10 °
± 20 mm /
± 15 °
± 30 mm /
± 20 °
± 75 mm /
± 30 °
分解能 10 nm /
1 µrad
0.05 µm /
1 µrad
0.5 µm /
5 µrad
0.5 µm /
2.5 µrad
再現性 ± 75 nm /
± 2 µrad
± 1.5 µm /
± 6.5 µrad
± 1.5 µm /
± 6.5 µrad
± 1 µm /
± 5 µrad
耐荷重 500 g 10 kg 縦置 /
5 kg 横置
25 kg 25 kg / 200 kg
真空対応 ×
アブソリュート
エンコーダ
× × ×
型名 ZONDA SIRIUS KUBAN JORAN
タイプ 高安定
高精度
高精度
大型
高精度
高荷重
中型
高精度
高荷重
大型
移動量 ± 200 mm /
± 20 °
± 150 mm /
± 20 °
± 65 mm /
± 5 °
± 50 mm /
± 3 °
分解能 0.1 µm /
0.5 µrad
5 µm /
10 µrad
0.2 µm /
1.5 µrad
0.1 µm /
0.5 µrad
再現性 ± 0.5 µm /
± 2 µrad
± 6 µm /
± 20 µrad
± 1 µm /
± 5 µrad
0.5 µm /
± 2 µrad
耐荷重 400 kg 200 kg 500 kg 1500 kg
真空対応 × ×
アブソリュート
エンコーダ
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