製品概要
SYMETRIE社は2001年に創業し、革新的なヘキサポッドを提供しております。
ヘキサポッドの平行キネマティック機構は6軸自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)を持ち高精度、高分解能かつ高剛性を実現しています。独自の優れたソフトウェアにより回転中心点を自由に設定が行え、容易にコントロールすることが可能です。
新製品
非磁性モデルも販売開始。
6軸自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)
高精度位置調整・軸調整が行えます。
「高重量対応モデル」から「真空対応モデル」まで幅広いラインナップ
| NanoPos | 超小型モデル、ピエゾ駆動（ナノメートル分解能） |
| MAUKA | 小型モデル |
| BORA | 高精度、小型モデル |
| PUNA | 簡易モデル |
| BREVA | 高精度、中型モデル |
| ZONDA | 高安定、高精度 |
| SIRIUS | 高精度、大型モデル |
| KUBAN | 高精度、高荷重、中型モデル |
| JORAN | 高精度、高荷重、大型モデル |
特長
- 積層ステージと比較してコンパクト、ケーブルの移動なし
- 高精度・分解能：10 nm～数十 μm
- 高耐荷重：数グラム～数トン
- 長い移動量
- 10-9 mbarの高真空にも対応可能
- 低クロストーク、強固
- 専用コントローラーで制御
- 自由にピボットポイント(回転中心)を設定可能
- アブソリュートエンコーダ(オプション)
- カスタマイズ可能な制御ソフトウェア
カスタマイズ可能な制御ソフトウェア
- SYM Positioning(標準制御ソフト)
- EPICS、TANGO、SPEC
- LabView、C、Python、MATLABなどの各種言語による制御
用途
- 宇宙望遠鏡や観測衛星の地上試験、電波望遠鏡
- 放射光施設での光学ミラー駆動(シンクロトロン)やサンプルの精密駆動(X線散乱)
- EUV露光装置
- X線回折装置など
上記は一例です。その他にも多くの分野にてご使用いただけます。
放射光ミラーチャンバー
天体望遠鏡副鏡の調整
真空対応モデル(10-9 mbar)
Movie
6軸ポジショニングシステム ヘキサポッド 仕様
| 型名 | NanoPos | BORA | PUNA | BREVA |
| タイプ | ミニチュア ピエゾ駆動 |
高精度 コンパクト |
簡易 | 高精度 中型 |
| 移動量 | ± 5 mm / ± 10 ° |
± 20 mm / ± 15 ° |
± 30 mm / ± 20 ° |
± 75 mm / ± 30 ° |
| 分解能 | 10 nm / 1 µrad |
0.05 µm / 1 µrad |
0.5 µm / 5 µrad |
0.5 µm / 2.5 µrad |
| 再現性 | ± 75 nm / ± 2 µrad |
± 1.5 µm / ± 6.5 µrad |
± 1.5 µm / ± 6.5 µrad |
± 1 µm / ± 5 µrad |
| 耐荷重 | 500 g | 10 kg 縦置 / 5 kg 横置 |
25 kg | 25 kg / 200 kg |
| 真空対応 | ○ | ○ | × | ○ |
| アブソリュート エンコーダ |
× | × | × | ○ |
| 型名 | ZONDA | SIRIUS | KUBAN | JORAN |
| タイプ | 高安定 高精度 |
高精度 大型 |
高精度 高荷重 中型 |
高精度 高荷重 大型 |
| 移動量 | ± 200 mm / ± 20 ° |
± 150 mm / ± 20 ° |
± 65 mm / ± 5 ° |
± 50 mm / ± 3 ° |
| 分解能 | 0.1 µm / 0.5 µrad |
5 µm / 10 µrad |
0.2 µm / 1.5 µrad |
0.1 µm / 0.5 µrad |
| 再現性 | ± 0.5 µm / ± 2 µrad |
± 6 µm / ± 20 µrad |
± 1 µm / ± 5 µrad |
0.5 µm / ± 2 µrad |
| 耐荷重 | 400 kg | 200 kg | 500 kg | 1500 kg |
| 真空対応 | ○ | ○ | × | × |
| アブソリュート エンコーダ |
○ | ○ | ○ | ○ |
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| 更新日 | 更新内容 | サイズ | ダウンロード |
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