ウエハのまま測定、超高感度・超高速、フィードバック時間の劇的改善
ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Säntis300

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ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Säntis 300 ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Säntis 300

製品概要

SEMとカソードルミネッセンス(CL)光学系を完全一体化した世界唯一のAttolight社製 超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムの半導体ウエハ(GaN, SiCなど)対応モデルです。基本モデルの特長を受け継ぎ、面倒な光学調整は一切不要、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピングを実現し、ウエハをカットすることなくウエハの分析が可能です。SEM像とCL像の同時取得ができ、小さなウエハから300mmウエハまで対応。半導体デバイスの製造工程において、ウエハレベルでの評価を可能にしフィードバック時間を数日から数分へ劇的に改善します。

CS表紙

同製品が化合物半導体の専門誌
Compound Semiconductor(Volume 24 Issue 5)の
表紙を飾り、特集記事が掲載されました。
下記より無料ダウンロードが可能ですので、
ぜひご覧下さい。

●特集記事のみダウンロード (676KB) pdf

●雑誌全ページダウンロード(10MB)pdf

半導体ウエハの分析

150 mmウエハの全領域から局所分析まで1台で対応!
300mmウエハにも対応。

半導体ウエハ分析データ
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