比類無き高感度STEM-CL観察を実現
走査型透過電子顕微鏡(STEM)用超高感度カソードルミネッセンス測定システム

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走査型透過電子顕微鏡(STEM)用超高感度カソードルミネッセンス測定システム  Mönch 4107 走査型透過電子顕微鏡(STEM)用超高感度カソードルミネッセンス測定システム  Mönch 4107

SEMICON JAPAN2018に出展します。

期間:12月12日(水)~12月14日(金)
会場:東京ビッグサイト
ブース番号:3021

SEMICON JAPANロゴ

●会社紹介URL:https://expo.semi.org/japan2018/Public/eBooth.aspx?IndexInList=3&FromPage=Exhibitors.aspx&ParentBoothID=&ListByBooth=true&BoothID=379411

セミナー情報
○タイトル:「Attolight社半導体ウエハカソードルミネッセンス装置を用いた化合物半導体の統計的プロセス制御」
○講演者:Attolight社CEO Dr. Samuel Sonderegger
○場所:東京ビッグサイト 展示会場3ホール TechSPOT INNOVATION and IOT
○日時:12月13日(木)13:40-14:30
○セミナー情報URL:https://semi-reg.smktg.jp/public/session/view/916?lang=ja


製品概要

 スイスAttolight社製の本装置は、走査型透過電子顕微鏡(STEM)用、高s/n比のカソードルミネッセンス(CL)測定システムです。ナノ粒子、量子ドット、結晶格子欠陥などの、超高分解能イメージとハイパースペクトラルイメージの同時測定が可能です。

特長

・高速スペクトラルイメージング
・モーター駆動ミラーの採用でパーフェクトな光学調整
・観測波長領域 200nm-1.7um
・バンドルファイバー簡単交換

主な用途

・プラズモニクス
・マイクロディスク
・ナノ粒子
・ナノワイヤー
・量子ドット
・ワイドギャップ半導体材料
・結晶格子欠陥
など

論文リスト

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