幅広いラインナップ 耐荷重:数グラムから数トン 分解能:10nmから数十μm
ヘキサポッド

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ヘキサポッド ヘキサポッド

製品概要

SYMETRIE社は2001年に創業し、革新的なヘキサポッドを提供しております。 ヘキサポッドの平行キネマティック機構は6軸自由度を持ち高精度、高分解能かつ高剛性を実現しています。独自の優れたソフトウェアにより回転中心点を自由に設定が行え、容易に制御することが出来ます。

NanoPos:ミニチュア、ピエゾ駆動(ナノメートル分解能)
BORA:高精度、コンパクト
PUNA:簡易モデル
BREVA:高精度、中型モデル
ZONDA:高安定、高精度
SIRIUS:高精度、大型モデル
KUBAN:高精度、高荷重、中型モデル
JORAN:高精度、高荷重、大型モデル

特長

  • 高耐荷重
  • 長い移動量
  • 高真空対応10-9 mbar可能
  • 低クロストーク、強固
  • 専用コントローラーで制御
  • 自由にピボットポイント(回転中心)を設定可能
  • アブソリュートエンコーダ(オプション)

用途

  • 望遠鏡、天文台
  • 電波望遠鏡
  • ミラー駆動 シンクロトロン
  • サンプル駆動 X線散乱
  • EUV露光装置
  • X線回折

製品紹介動画

ヘキサポッド 仕様

NanoPos BORA PUNA BREVA ZONDA SIRIUS KUBAN JORAN
ミニチュア、
ピエゾ駆動
高精度、
コンパクト
簡易 高精度、
中型
高安定、
高精度
高精度、
大型
高精度、
高荷重、
中型
高精度、
高荷重、
大型
移動量 ± 5 mm /
± 10 °
± 20 mm /
± 15 °
± 30 mm /
± 20 °
± 75 mm /
± 30 °
± 200 mm /
± 20 °
± 150 mm /
± 20 °
± 65 mm /
± 5 °
± 50 mm /
± 3 °
分解能 10 nm /
1 µrad
0.1 µm /
2 µrad
0.5 µm /
5 µrad
0.5 µm /
2.5 µrad
0.1 µm /
0.5 µrad
5 µm /
10 µrad
0.2 µm /
1.5 µrad
0.1 µm /
0.5 µrad
再現性 ± 75 nm /
± 2 µrad
± 1.5 µm /
± 6.5 µrad
± 1.5 µm /
± 6.5 µrad
± 1 µm /
± 5 µrad
± 0.5 µm /
± 2 µrad
± 6 µm /
± 20 µrad
± 1 µm /
± 5 µrad
0.5 µm /
± 2 µrad
耐荷重 500 g 10 kg 縦置 /
5 kg 横置
25 kg 25 kg / 200 kg 400 kg 200 kg 500 kg 1500 kg
真空対応 × × ×
アブソリュート
エンコーダ
× × ×
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