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コストパフォーマンス抜群のガス分析装置(四重極質量分析計)
残留ガス分析計 RGA100/200/300 CIS100/200/300

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Stanford Research Systems
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製品概要

RGA100, RGA200, RGA300型残留ガス分析計は低価格な真空系における残留ガスの分析装置です。ガス分析には四重極質量分析計を採用し、ファラデーカップまたはチャンネルトロン(オプション)で検出します。プローブはオープンソースタイプのデュアルThoriated Iridiumフィラメントを採用しています。専用のソフトウェアが標準で付属しPCから完全な制御が可能です。 ガス分析器部分は簡単に分解することが可能でクリーニング等のメンテナンスもやりやすい設計になっています。 任意の質量数の分圧変化のモニターなどプロセスモニター用途でもご使用頂けます。

特長

  • 100, 200, 300 amuシステム
  • 測定分解能1 amu以下
  • 最小検知分圧6.7× 10-12 Pa (RGA)
  • 1 ppm検出 (CIS)
  • 動作圧力1.33 Pa (最大,CIS)
  • 専用ソフトウェア付属(Windows版)
  • マルチヘッドオペレーション
  • RS232インターフェイス

用途

  • 真空装置の残留ガス分析
  • プロセス管理、リークチェック

残留ガス分析計(RGAおよびCISシリーズ) 仕様

質量数測定範囲
RGA100, CIS100 100 amu
RGA200, CIS200 200 amu
RGA300, CIS300 300 amu
質量分析器 四重極質量分析計
検出器 ファラデーカップ(FC,標準)CEM,(RGAはオプション)
質量分解能 0.5 amu以上
感度(A/Torr) 2×10-4(FC), <200(CEM)
最小検知分圧 RGA
CIS
6.7×10-9 Pa(FC), 6.7×10-12 Pa(CEM)
1.3×10-8 Pa*1(CISモード), 1.3×10-9 Pa*1(RGAモード)
動作圧力条件 RGA
CIS
0.13 Pa~UHV(FC)1.3×10-3 Pa~UHV(CEM)
1.3 Pa以下
ベーキング温度(ECU無し)
イオナイザー RGA
CIS
オープンイオン化源
クローズドイオン化源
フィラメント RGA ThO2/Ir
CIS ThO2/Irまたはタングステン
電子エネルギー(V) 25~105(プログラマブル)
イオンエネルギー(V) 8または12V(プログラマブル)
フォーカス電圧(V) 0~150V(プログラマブル)
電子放射電流(mA) 0~3.5(プログラマブル)
その他
プローブ寸法(cm) 22.2(フランジ面からメッシュ上部)
接続ポート ICF70
ECU寸法(cm) 7.9(W)×10.4(H)×23.1(D)(プローブ取外し可)
電源 24 VDC@2.5 A Op.2追加で100 VACから取得可
オプション
01 CEM(HV電源付)*2
02 AC電源
03 高速イオンカウンティング用出力*2
O100REA Ethernetアダプタ
O100HJR RGA用ヒータージャケット*2
O100MAX RGA用アナライザープローブ*2
O100RF 交換用ThO2/Irフィラメント*2
O100RI 交換用イオナイザーキット*2
O100EM 交換用CEM
O100HJC CIS用ヒータージャケット*3
O100RFT 交換用ThO2/Irフィラメント(2個セット)*3
O100RFW 交換用タングステンフィラメント(5個セット)*3
O100RDP ターボ分子ポンプ(ダイアフラムポンプ付)*3
  • *1CEM使用時、*2RGA用オプション、*3CIS用オプション
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更新日 更新内容 サイズ ダウンロード
2015/10/01 RGA ソフトウェア (Ver. 3.213.008) Windows用 7120904 ダウンロード
2015/10/01 LabVIEW Development Kit for LabVIEW v8.5 2800936 ダウンロード

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