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FE-LEEM/PEEM P90シリーズ
FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡

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製品概要

ドイツSPECS社製のFE-LEEM/PEEM P90シリーズは、90°ディフレクタを用い、LEEMモードで高空間分解能(5nm)を実現しました。球面収差補正機能を追加した場合には、空間分解能3nmで、スループットも従来に比べ8倍向上します。高輝度・低エネルギー分散 FE-電子銃を用い、高分解エネルギー分解能測定が可能です。

特長

  • コンパクト、オールインワン設計
  • 高分解能(3nm:LEEM、球面収差補正機能追加モデル)
  • 高輝度、低エネルギー分散 FE-電子銃(半値幅300meV)
  • 球面収差補正機能(オプション)
  • 高精度5軸ピエゾ試料ステージ
  • 高い拡張性

測定モード

  • LEEM像(反射コントラスト)
  • LEEM像(フェーズコントラスト)
  • ミラー電子顕微鏡像
  • LEED像
  • マイクロLEED像
  • ARPES像
  • EELS像
  • PEEM像
  • XMCD-PEEM像
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