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FE-LEEM/PEEM P90シリーズ
FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡

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FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡 FE-低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡

製品概要

ドイツSPECS社製のFE-LEEM/PEEM P90シリーズは、低エネルギー電子を照射し反射電子像を得るLEEMモードと、光を照射し光電子像を得るPEEMモードを選択可能な電子顕微鏡です。90°ディフレクタを用い、LEEMモードで高空間分解能5nmを実現しました。オプションの球面収差補正機能を追加することで、空間分解能は3nm(標準値、最高到達分解能1.6nm)に向上し、 スループットも従来に比べ8倍アップします。高輝度・低エネルギー分散 FE-電子銃を用いる事で、高いエネルギー分解能測定を実現します。

特長

  • コンパクト、オールインワン設計
  • 高分解能 保証値3nm、最高到達分解能1.6nm(LEEM、球面収差補正機能追加モデル)
  • 高輝度、低エネルギー分散 FE-電子銃(半値幅300meV)
  • 球面収差補正機能(オプション)
    球面収差補正機能
  • 高精度5軸ピエゾ試料ステージ
  • 高い拡張性

測定モード

  • LEEM像(反射コントラスト、フェーズコントラスト)
  • ミラー電子顕微鏡像
  • LEED像、マイクロLEED像
  • ARPES像
  • EELS像
  • PEEM像
  • XMCD-PEEM像
    測定像

仕様

空間分解能 FE-LEEM P90 保証値5nm (最高分解能4.2nm)
FE-LEEM P90 AC 保証値3nm (最高分解能1.6nm)
観察視野 800nm~100μm
倍率 400~50000倍
エネルギー分解能 分光測定 <250meV
イメージング <1.7eV
Kineticエネルギー 通常15keV、最小2keV
占有面積 1.6×2.3m (高さ2.3m)
スタートエネルギー 最大1000eV
ベースプレッシャー 2×10-10mbar
LEEMスポットサイズ <40μm
最小200nm (マイクロ・ディフラクションのアパーチャー使用時)
電子ビームのエネルギー幅 <300meV
試料ステージの位置再現精度 ~500nm
最高試料加熱温度 最大1500K (イメージング時)
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