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研究室で最大0.1気圧環境下のオペランド測定が可能
環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA

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環境制御 X線光電子分光装置 製品画像 環境制御 X線光電子分光装置 製品画像

製品概要

 SPECS社は本社をドイツ首都ベルリンに置く、1983年創業の世界的なハイエンド光電子分光装置/表面分析装置メーカーです。 放射光施設を中心に、全世界で400以上のシステム納入実績を誇ります。この度SPECS社は、ラボベースで準大気圧(最大0.1気圧)環境下での軟X線光電子分光を可能する、画期的な環境制御光電子分光装置“EnviroESCA”を新たにリリースしました。
 EnviroESCAは試料を準大気圧(最大0.1気圧)環境下で測定し、従来のような超高真空環境を必要としません。液体・含水性試料はもちろん、揮発試料や激しく脱ガスする多孔質な試料でも、EnviroESCAの試料室に投入後、僅か数分後には測定を開始します。従来型XPSでは測定を諦めていた試料を分析できるだけでなく、雰囲気ガスや温度を自由に制御して新しい研究分野を開拓する強力な武器となります。現在急速に注目を集めている、デバイス動作環境下での測定、いわゆる“オペランド測定”も簡単に実現できます。超高真空環境を必要としないEnviroESCAであれば、短時間に多量の検査を必要とする生産ラインでの品質検査でも効率的に運用可能です。ロボット・オートローダーを使用して、無人で試料導入から測定までをバッチ処理することもできます。 X線光電子分光=超高真空環境下の既成概念を払拭するEnviroESCAは、新奇の研究開発を牽引し、さらにX線光電子分光法に医療・バイオ・ライフサイエンスなど全く新しい活用の場を提供する装置です。
 SPECS社はEnviroESCAの特徴を遺憾なく発揮した測定ができるように、試料加熱機構(最大1200度)、冷却機構、高純度ガス導入システム等を用意しています。雰囲気制御下という特別な測定環境下にも関わらず、初心者もベテランユーザも簡単に測定を行うことができるように、測定室の圧力調整などは全て自動的に行われ、複雑な操作は一切必要ありません。また予め設定した測定シーケンスによる全自動測定も可能です。ポンプや冷却用チーラなど動作に必要な全ての機能は1つの筐体に納められており、設置スペースを最小にする事ができます。

金属腐食分析関連製品:
・環境制御型・高感度表面電位マッピング装置

用途

液体分析、気液界面の化学反応分析、触媒反応、金属の腐食反応、エネルギー材料とデバイス・動作中の電池反応
医療・生体適合材料、塗膜・メッキ膜、バイオサンプル、土壌・鉱物、樹脂、セラミックス、プラスチック、
宇宙科学と宇宙生物学、繊維・布、ナノマテリアル、エレクトロニクス、磁気記録媒体ほか

各種サンプル測定事例

(画像をクリックするとSPECS社の測定事例の詳細が開きます。)

SPECS社Webページにて、各種サンプル測定結果を随時更新中
http://www.specs.com/

試料環境

  • 試料導入から分析までの環境を制御
  • 多彩なガス導入システム
  • 特別な試料環境下での測定
  • 大きな試料をそのまま導入(最大直径Ø 60mm、高さ40mm)

多彩な試料導入方法

  • サンプルエクスプローラー
    効率的な分析作業を実現する独立したシステムです。試料を
    EnviroESCAに導入する前に、サンプルエクスプローラーで
    事前に、試料の測定位置や測定シーケンスを予め設定します。
    測定点数、タスク数に制限はありません。
    3台の高分解能カメラによって試料の広角像及び拡大像(分解
    能~10μm)を観察記録しながら、正確に測定点を指定する
    ことができます。記録した画像は、自動的に測定スペクトルと
    関連付けが行われます。
サンプルエクスプローラー
  • オートローダー
    サンプル・ストレージユニットと産業用ロボットを組み合わせて、
    無人による大量自動分析を実現します。必要に応じて複数の
    サンプル・ストレージユニットを同時に使用することも可能です。
    ロボットの動作を妨げずにストレージユニッの交換が行なえます。
オートローダー
  • グローブボックス
    試料を大気に晒すこと無く、グローブボックスから直接試料を
    投入する事ができます。
グローブボックス

オプション

  • 自動帯電補正
  • 深さ方向分析用 アルゴン・クラスターイオン銃
  • スパッタイオン銃
  • 交換用試料環境モジュール
    室温用試料環境追加モジュール(標準で一台搭載されています)
    高温測定用試料環境追加モジュール(IRレーザー加熱 室温~1200℃)
オプション

オールインワン設計

  • 人間工学に基づいたオールインワン設計
  • 設置から立ち上げまでの時間を短縮
  • 長期間の安定運用
  • 費用対効果の高いサービスを提供
  • 容易に消耗部品を交換

信頼性

  • 詳細なマニュアル
  • 信頼性の高い各種分析レシピの提供
  • システム状態を恒久的に自動記録
  • 充実したサポート

使いやすさ

  • 実用性を重視したソフトウェア
  • 完全リモート操作
  • 自動排気システム
  • 簡便な試料導入
  • 光学3次元試料ナビゲーション
ソフトウェア画面と真空排気システム制御画面

環境制御・X線光電子分光装置 EnviroESCA 構成図

準大気圧 X線光電子分光装置 EnviroESCA 構成図
準大気圧 X線光電子分光装置 EnviroESCA 構成図

EnviroESCA

エネルギー分析器 静電半球型エネルギー分析器 半径150 mm
差動排気レンズシステム、ディレライン検出器 最大400チャンネル
X線源 Al-Kα マイクロフォーカス・モノクロメータ
ローランド円直径600 mm
測定位置でのスポットサイズ200µm~1mm(可変)
中和銃 低エネルギー電子銃(差動排気仕様)
イオン銃 微小スポット・イオン銃 (走査可能、200eV~5keV) (差動排気仕様)
クラスターガスイオンガン
排気システム ターボ分子ポンプ
オイルフリーポンプ
化学耐性ポンプシステム(オプション)
試料環境圧力 アナライザのアパーチャ径で調整
(直径300μm の時、最大圧力 100mbar、他のアパーチャ径にも特注対応)
ガス導入システム 試料分析部分に2系統のガス導入
マスフローコントローラ
カメラ 試料観察用デジタル顕微鏡3台
自動制御/ソフトウェア 完全自動排気
ガス導入システム
最新のソフトウェアパッケージ

試料・スマートドック(標準およびオプションを含む)

試料ステージ 高精度3軸ステージ
試料サイズ 直径 60mm
高さ 40mm
導入ガス プロセス用
パージ用
試料クリーニング ダウンストリームRFプラズマ
観察カメラ デジタル顕微鏡
予備ポート DN40CF (2,75”) X2
例)電気配線、溶液導入
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