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研究室で最大0.1気圧環境下のオペランド測定が可能
環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA

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環境制御 X線光電子分光装置 製品画像 環境制御 X線光電子分光装置 製品画像

製品概要

SPECS社は本社をドイツの首都ベルリンに置く、光電子分光装置のリーディングカンパニーです。
新たにリリースした「EnviroESCA」は、大気圧に近い準大気圧環境下に置いた試料のX線光電子分光スペクトルを、大型施設に出向くことなく各研究室で測定する事ができます。従来型のXPSが持っていた大きな障壁を打ち破り、これまでは予想し得なかった研究・開発分野でも光電子分光を活用して頂けます。

自動化された差動排気システムによって、エネルギー分析器やX線源の超高真空を維持しながら、試料部分のみを高真空~0.1気圧までと幅広い圧力範囲で制御する事が可能です。交換可能なサンプル環境モジュールを使用して、様々な試料環境を作り出すことができ、従来のESCAでは不可能だったチャレンジングな測定が可能です。

電源、チラー、真空排気システムといった、動作に必要な全ての機器が一つの筐体内に収められており、研究室の限られたスペースに設置することができます。真空排気、ガス制御など全て自動化されており、専門家でなくても操作することが可能です。また、ネットを介してモバイルディバイスから操作できます。経験豊かなユーザや特別な測定を行う研究者の要求に応えるために、全てのプロセスをマニュアル操作モードも用意されています。

斬新な試料導入方法を採用するEnviroESCAは、溶液、細胞、プラスチック、薄片、粉体、粘土、多孔体、岩石、鉱石、セラミックスなど多様な試料を極めて短時間に試料をセットして測定する事ができ、短時間に多量の分析ができます。さらに、ロボット・オートローダ(オプション)を使用して、無人で試料導入から測定までをバッチ処理させる事も可能です。高いスループットを要求される分析センターでの使用や、生産ラインでの抜き取り検査に使用することも可能です。

金属腐食分析関連製品:
・環境制御型・高感度表面電位マッピング装置

各種サンプル測定事例

(画像をクリックするとSPECS社の測定事例の詳細が開きます。)

SPECS社Webページにて、各種サンプル測定結果を随時更新中
http://www.specs.com/

試料環境

  • 試料導入から分析までの環境を制御
  • 多彩なガス導入システム
  • 特別な試料環境下での測定
  • 大きな試料をそのまま導入
  • 最大直径Ø 60mm、高さ40mm

多彩な試料導入方法

  • サンプル・エクスプロラー
  • スマート・ドック
  • オートローダー
  • グローブボックス

拡張性

  • マイクロフォーカスX線源
  • 高分解能XPS
  • 自動帯電補正
  • 深さ方向分析用スパッタ

オールインワン設計

  • 人間工学に基づいたオールインワン設計
  • 設置から立ち上げまでの時間を短縮
  • 長期間の安定運用
  • 費用対効果の高いサービスを提供
  • 容易に消耗部品を交換

信頼性

  • 詳細なマニュアル
  • 信頼性の高い各種分析レシピの提供
  • システム状態を恒久的に自動記録
  • 充実したサポート

使いやすさ

  • 実用性を重視したソフトウェア
  • 完全リモート操作
  • 自動排気システム
  • 簡便な試料導入
  • 光学3次元試料ナビゲーション

環境制御・X線光電子分光装置 EnviroESCA 構成図

準大気圧 X線光電子分光装置 EnviroESCA 構成図
準大気圧 X線光電子分光装置 EnviroESCA 構成図

EnviroESCA

エネルギー分析器 静電半球型エネルギー分析器 半径150 mm
差動排気レンズシステム、ディレライン検出器 最大400チャンネル
X線源 Al-Kα マイクロフォーカス・モノクロメータ
ローランド円直径600 mm
測定位置でのスポットサイズ200µm~1mm(可変)
中和銃 低エネルギー電子銃(差動排気仕様)
イオン銃 微小スポット・イオン銃 (走査可能、200eV~5keV) (差動排気仕様)
クラスターガスイオンガン
排気システム ターボ分子ポンプ
オイルフリーポンプ
化学耐性ポンプシステム(オプション)
試料環境圧力 アナライザのアパーチャ径で調整
(直径300μm の時、最大圧力 100mbar、他のアパーチャ径にも特注対応)
ガス導入システム 試料分析部分に2系統のガス導入
マスフローコントローラ
カメラ 試料観察用デジタル顕微鏡3台
自動制御/ソフトウェア 完全自動排気
ガス導入システム
最新のソフトウェアパッケージ

試料・スマートドック(標準およびオプションを含む)

試料ステージ 高精度3軸ステージ
試料サイズ 直径 60mm
高さ 40mm
導入ガス プロセス用
パージ用
試料クリーニング ダウンストリームRFプラズマ
観察カメラ デジタル顕微鏡
予備ポート DN40CF (2,75”) X2
例)電気配線、溶液導入
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