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OEM用途向け、高精度な光学特性モニター用分光器
オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM

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オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM

製品概要

本装置は、光学薄膜の成膜中および成膜後に真空チャンバー内で光学特性を測定する為の装置です。成膜装置などに組み込んでの測定に最適な装置です。

特長

  • 高精度、広帯域での光学特性モニター可能
  • タッチスクリーン操作で素早く測定

用途

  • 光学素子の多層膜コーティングのモニタリング
  • 蒸着材料の発光スペクトル測定
  • 多層膜コーティング光学素子の反射・透過特性測定

オプティカルコーティング装置用分光器ESCORT SM仕様

型名 S125 M450
分光装置 シングル分光器 ダブル分光器
焦点距離 125 mm 450 mm (225 mm× 2)
分光レンジ 380 ~ 1100 nm 380 ~ 850 nm
分光器スリット 固定 0.04mm 可変 0.2~2mm
最少測定時間 2 ms/スペクトル 2 ms/点
最少波長間隔 0.37 nm/pixel 0.1 nm
波長設定絶対誤差 ±0.4 nm ± 0.2 nm
波長設定繰返し精度 ± 0.2 nm ± 0.1 nm
測光ノイズ ±0.07% ±0.02%
測光精度 ±0.5% ±0.2%
測光繰返し精度 ±0.15% ±0.05%
迷光 0.1% (@ λ=450nm) 0.005% (@ λ=400nm)
検出器 CCD PMT
発光スペクトル測定オプション あり なし
入力方式 ファイバー接続
接続インターフェイス Ethernet  , USB , RS232 , VGA , PS/2
寸法 483×600×177mm
重量 25kg
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