お問い合わせ

清浄度検査に新提案!部品の発塵をエアーで迅速検査
発塵検査装置

PSE01 お見積り・お問い合わせへ
  • 製品概要
  • 関連資料
発塵検査装置 発塵検査装置

製品概要

PERSYS社は、アメリカのシリコンバレーを中心に半導体産業向けの高度クリーンルーム内で使用する機材の部品洗浄、技術開発、生産、保守を手掛ける創業1988年のクリーン技術専門企業です。
PERSYS社が製造する発塵検査装置PARTiは、製品の歩留まりに影響を与える部品の発塵を、クリーンルーム内で迅速検査する ことができる新提案の検査装置です。検査物の前処理は不要で、チャンバー内に設置して、HEPA/ULPAフィルターを通過させた クリーンなエアー吹き付けで付着粒子を吹き飛ばし、装置下部搭載のパーティクルカウンターで発塵を計測します。ルーティン検査などユーザ独自の測定条件を設定でき、付着粒子の時間経過、累積測定量、減衰量を随時モニターします。装置は、用途に合わせて0.1~5.0μm測定と0.3~5.0μm測定の2種類から選択できます。クリーンルーム内で使用する治具・試料容器・無塵衣・グローブ類の各種専用ホルダーも用意されております。

特長

  • 多彩な発塵条件 ダウンフロー&エアー吹付
  • ユーザ独自の測定条件
  • 簡単操作 ルーティン検査に対応
  • 治具、試料容器、無塵衣、グローブ類 なんでも測定
  • 豊富な試料固定用ホルダーを用意
ハンガー
ケージ
カセット
グローブ

装置概要、寸法

装置概要、寸法

測定例

付着粒子の時間経過 累積測定量、減衰量

電子線誘起電流イメージング装置 測定データ例
Get ADOBE READER

ダウンロードしたPDFファイルをご覧になるには、Adobe Acrobat Readerが必要です。左記のバナーより、ソフトウェア(無料)をダウンロード・インストールして下さい。

更新日 更新内容 サイズ ダウンロード

よくいただくご質問

製品のお見積り・お問い合わせはここをクリック

※お問い合わせNo.PSE01をお伝えください。

お電話 ※お問い合わせNo.をお伝えください。
本社03-3686-4711
大阪営業所06-6393-7411