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清浄度検査に新提案!部品の発塵をエアーで迅速検査
発塵検査装置

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発塵検査装置 発塵検査装置

製品概要

清浄度検査に新提案!エアブローによる発塵検査

PERSYS社が製造する発塵検査装置PARTiは、製品の歩留まりに影響を与える発塵を、クリーンルーム内で迅速検査する事ができる新提案の検査装置です。検査物の前処理は不要です。専用チャンバー内に設置して、HEPAフィルターを通過させたクリーンなエアー吹き付けで付着粒子を吹き飛ばし、装置下部搭載のパーティクルカウンタ-で発塵を計測します。装置は、用途に合わせて 0.1~5.0μm測定と0.3~5.0μm測定の2機種を用意しております。

装置概要、寸法

何でも検査可能(例、ウェハカセット、精密加工部品、無塵衣)

検査物を液体に浸したり、ドラムで回転させたりする必要がない為、ウェハカセットのような試料容器、精密加工部品、治具、無塵衣、グローブ類など、どんな検査物も迅速簡単測定できます。各種専用ホルダーも用意されております。

Cage
Cage
Hanger
Hanger
Fixture for Cassettes
Fixture for Cassettes
Fixture for Gloves
Fixture for Gloves

ユーザー独自の測定条件、ルーティン検査対応

ルーティン検査などユーザー独自の測定条件を設定できます。付着粒子の時間経過、累積測定量、減衰量を随時モニターします。

電子線誘起電流イメージング装置 測定データ例

PERSYS社

アメリカのシリコンバレーを中心に半導体産業向けの高度クリーンルーム内で使用する機材の部品洗浄、技術開発、生産、保守を手掛ける創業1988年のクリーン技術専門企業です。

persys社
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